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Bomba Molecular Shimadzu Shimadzu

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Descripción general

La bomba molecular de mantenimiento de la bomba Molecular Shimadzu (turbomolecular pump) se utiliza principalmente para proporcionar un ambiente de vacío para la fabricación de células solares y semiconductores. Las Bombas moleculares Shimadzu tienen un alto nivel de capacidad de escape en el mundo y una serie de productos pueden satisfacer las necesidades tecnológicas de diferentes módulos de células solares y chips de silicio. con la expansión del mercado, nuestro ritmo de desarrollo nunca se ha detenido.

Detalles del producto

Bomba Molecular Shimadzu Shimadzu

El TPM Shimadzu se utiliza principalmente para proporcionar un entorno de alto vacío para la fabricación de dispositivos semiconductores, células solares y pantallas planas.
El TMP producido por Shimadzu tiene un rendimiento de gas de nivel internacional y una velocidad de bombeo, que puede satisfacer las necesidades de proceso de fabricación de semiconductores cada vez más estrictas. Por ejemplo, permite a los fabricantes depositar y grabar películas semiconductoras en grandes áreas de silicio.


A través de la rotación de alta velocidad de la turbina para crear un ambiente de vacío, el efecto de vacío de TMP ha alcanzado el nivel de flujo molecular. La fabricación de semiconductores y pantallas planas requiere un ambiente de vacío limpio y sin aceite para mantener un excelente estado de funcionamiento del equipo. El rendimiento técnico, la fiabilidad y la red global de soporte técnico proporcionada por Shimadzu hacen de Shimadzu TMP una parte integral de este tipo de aplicaciones. Shimadzu produce una serie de productos TMP de múltiples líneas. Cada serie de productos tiene diferentes usos.

Además de la función de control de temperatura y el recubrimiento especial resistente a la corrosión, la serie TMP - 2404 / 3304 / 4304 con alto rendimiento de gas tiene un rango de bombeo de 2100 L / s a 4400 L / s, con una variedad potencial de aplicaciones.
Cada uno de los modelos de la serie TMP - x1605 / v2304, compacta y de ahorro de energía, cuenta con un componente de alimentación integrado, que consume un 15% menos de energía que los modelos con un componente de alimentación independiente.
Además de la fuente de alimentación integrada, la serie TMP - x3405 / x4304 también tiene funciones de control de temperatura y recubrimientos resistentes a la corrosión, que pueden cumplir con los estrictos requisitos del proceso de proceso en la fabricación de semiconductores y pantallas planas (fpd).
Además, muchos de los productos de las series TMP - 203 a 1003 también tienen excelentes relaciones de compresión y niveles de presión límite, lo que permite un alto vacío.



Bomba molecular de turbina de levitación magnética Shimadzu Shimadzu TMP - 3003lm

La bomba molecular de turbina de rodamiento magnético Shimadzu de Japón adopta un sistema de rodamiento magnético controlado por cinco ejes, sin necesidad de lubricación por aceite, durante el funcionamiento, sin ninguna fricción, es una bomba molecular de turbina que realmente se logra sin aceite, sin mantenimiento e instalación.



Suministro Shimadzu Turbo Pump Shimadzu TMP gama completa de ventas / reparaciones / mantenimiento de Bombas moleculares


Gran flujo de escape
- excelente resistencia a la corrosión
• controlador compacto
- respuesta a las contramedidas generadoras (compras)
- diversas funciones de vigilancia
- correspondencia de acceso a la red
• La velocidad de la bomba es ajustable
- reducción del consumo de electricidad
- adecuado para todo tipo de especificaciones
• No es necesario ajustar (al reemplazar el cable de la bomba, no es necesario volver a ajustar el controlador)
- no se necesitan baterías





- amplia gama y gran rendimiento
- soporte para fuentes de alimentación digitales
- diversas funciones de vigilancia
- se puede hacer una conexión a la red
- pasar la certificación ce, la certificación semi S2 y




Algunos modelos de reparación y mantenimiento de la bomba Molecular Shimadzu Turbo Pump en shimadzu, japón:


TMP-X系列 TMP-X2905LMTC, TMP-X3405LMTC


TMP-LMTC 系列 TMP-3403LMTC, TMP-4203LMTC


TMP-MP/MPC 系列 TMP-1103MP y TMP-1103MPC


TMP-LMP/LMPC 系列 TMP-1103LMP y TMP-1103LMPC


TMP-B/SER 系列 TMP50, TMP-B300 y TMP280-SER


TMP-I/L-SER 系列 TMP280-I-SER, TMP280-L-SER y TMP1500-L-SER


TMP-UE/LM-SER 系列 TMP802-LM-SER, TMP-2001-UE-SER, TMP-3001-LM-SER


Serie TMP - V

TMP-V1704LM, TMP-V2304LM, TMP-V2304LM (PB), TMP-V3304LM, TMP-V3304LM(F)


Serie TMP - LMF / LMB

TMP-1503LMF, TMP-2804LMB/LMF, TMP-3304LMB/LMF, TMP-3403LMB/LMF, TMP-4304LMB/LMF, TMP-3804LMF/LMC


TMP-M/MC 系列 TMP-203M/MC、TMP-203M-G1TMP-303M/MC、TMP-403M/MC、TMP-803M/MC、TMP-1003M/MC、TMP-1003MC-U2、TMP-1303M/MC、TMP-1503LMP/LMC、TMP-2003M/MC、TMP-2003MC-U2、TMP-2003MC-U1、TMP-2203M/MC、TMP-3203M/MC


Serie TMP - lm / LMC

TMP-203LML/LMC、TMP-303LM/LMC、TMP-403LM/LMC、TMP-803LM/LMC、TMP-803LM-G1、TMP-1003LM/LMC、TMP-1303LM/LMC、TMP-1303LMC-G1、TMP-1503LM、TMP-2003LM/LMC、TMP-2003LM-3、TMP-2203LM/LMC、TMP-2804LM/LMC、TMP-3003LM/LMC、TMP-3203LM/LMC、TMP-3203LMC-A1、TMP-3303LM/LMC、TMP-3304LM/LMC、TMP-3403LM/LMC、TMP-3403LMC-K1、TMP-H3603LMC、TMP-H3603LMC-A1、TMP-H3606LM、TMP-3804LMC、TMP-4203LMC、TMP-4203LMC-T1、TMP-4304LM/LMC