Serie Tg - m de bomba Molecular compuesta de tipo rodamiento de levitación magnética

Serie Tg - m de bomba Molecular compuesta de tipo rodamiento de levitación magnética

La bomba molecular de turbina consta de varias capas de palas de rotor y palas de estator. La siguiente imagen muestra la relación entre el ángulo de la hoja y la dirección de rotación. las moléculas de gas entran en la bomba desde el lado del alto vacío y se separarán en diferentes direcciones de acuerdo con la distribución de Maxwell después de adherirse a la hoja del rotor. Sin embargo, debido al ángulo de inclinación y rotación de la hoja, la molécula Vuela hacia la siguiente capa y es fácil pasar por la hoja del estator y luego hacia abajo. Al mismo tiempo, las moléculas de gas que entran desde la capa inferior y retroceden después de fijar la hoja también pueden volar de nuevo a la siguiente capa chocando con la hoja del rotor. El ángulo de la hoja es que las moléculas de gas en la parte superior pasan fácilmente por el ángulo (la diferencia entre el flujo en la dirección del escape y la contracorriente es grande), mientras que las moléculas de gas en la parte inferior no son fáciles de retroceder (el flujo en la dirección del escape es relativamente grande y la contracorriente es relativamente grande). En las cuencas moleculares, las Bombas moleculares de turbina juegan un rendimiento básico a través de las palas del rotor y las palas del estator.

Características principales

・ ambiente de Supervacío sin aceite

· escape molecular de gas mecánico (escape dinámico), la velocidad de escape para todos los gases es aproximadamente la misma

・ gases raros y corrosivos

・ puede descargar continuamente grandes flujos de gas

・ amplio rango de presión que se puede trabajar. (~ 10-10Pa).

OsakaSerie Tg - m de bomba Molecular compuesta de tipo rodamiento de levitación magnética

El uso de rodamientos de levitación magnética para lograr un escape sin aceite, y el ciclo de mantenimiento es largo. Proporciona productos con una velocidad de escape de 300l / s a 3400l / S.

TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M

La especialidad de la nueva bomba molecular de turbina con soporte de levitación magnética tg397m / tg427m / tg907m / tg1307m

• Diseño de energía eléctrica provincial

• Los datos de trabajo, el número de contactos de rodamientos, la información del tipo de máquina, etc., se pueden almacenar en el cuerpo de la bomba molecular, incluso si se cambia el controlador durante el mantenimiento, los datos se pueden transferir.

• Múltiples especificaciones de comunicación (pueden corresponder a ethercat)

• Especificaciones internacionales

• Cumple con las especificaciones ce, semi - s2, nrtl

  Ocasión de aplicación:

  
  

• Equipos de fabricación de semiconductores

• Equipos de fabricación FpD

• Equipos de fabricación de células solares

• Procesamiento de componentes ópticos como vidrio / lentes

• Procesamiento de películas

• Acelerador / equipo experimental ambiental cósmico

  Parámetros técnicos:

• 

  

•