Elipsometro espectral se - VF

I. reseña

SE-mEs un elipsometro espectral especial para la medición de la estructura gráfica de microzona personalizado para la industria de semiconductores.Su adopción1 Tecnología de detección y medición de manchas de luz ultra pequeñas， 2 Velocidad de medición súper rápida personalizadaOtras tecnologías. Se puede aplicar transparenciaLa medición n / K / D de películas delgadas como películas antirreflexivas y conductoras en varios sustratos es adecuada para el análisis de varios parámetros ópticos en patrones de microregión.

II. funciones características

■ Se puede personalizar el tamaño del punto de luz, hasta un mínimo de 30 um;

■ medición ultrarápida, el tiempo de medición única es inferior a 0,5 segundos;

■ la configuración de la serie es flexible y admite el diseño personalizado de la función;

■Estructura compacta y más adecuada para la medición integrada en línea.

III. ejemplos de medición

Medición de la estructura gráfica de la microzona

IV. escenarios de aplicación

Se aplica a la medición de constantes ópticas y a diversas aplicaciones de detección de recubrimiento, como películas ópticas.