Termómetro de mesa RTP ex - et - 222

Características principales

Detalles

Como pionero en la industria de termómetros de metales preciosos con una historia de más de 30 años, BASF ha aplicado su experiencia en tecnología de medición de temperatura a la medición de temperatura óptica. BASF Exactus ® El sensor de temperatura infrarroja ha logrado un avance técnico y ha mostrado ventajas significativas de rendimiento en la medición de temperatura sin contacto. En comparación con otros productos similares, su tecnología electrónica sensible, tecnología óptica de precisión y su capacidad para medir bajas temperaturas utilizando ondas cortas hacen que el control del proceso sea más estricto, la precisión sea mayor y el rendimiento general sea mejor.

Termómetro de mesa RTP ex - et - 222Es BASF Precision ® La serie de productos tiene muchas ventajas para controlar la temperatura y la uniformidad del espesor de la película entre las obleas: la electrónica altamente sensible y la tecnología óptica avanzada significan que la energía de radiación se puede medir con detectores de longitud de onda más corta, lo que reduce los errores causados por la transmisión y emisión de las obleas. Además, las mediciones de alta velocidad y la alta resolución garantizan excelentes propiedades de control de temperatura y supresión de ruido, proporcionando así un mejor monitoreo de temperatura de obleas y procesos de producción.

Termómetro de mesa RTP ex - et - 222Utilizando la forma de conexión de tubo óptico de conexión directa del sensor de unos 900 nm combinada con ifm10 - EC multicanal, se puede lograr hasta 10 puntos de medición y registro en tiempo real, con un rango de medición de temperatura de 250 - 1300 grados celsius, una precisión de hasta 1,5 grados Celsius y una repetibilidad de 0,1 grados celsius. Sistema de medición de temperatura RTP compatible con amat.

BASF Exactus ® La serie de equipos de medición de temperatura infrarroja se ha utilizado ampliamente en procesos de semiconductores como recocido rápido, oxidación rápida y depósito de película delgada, y se ha integrado en varios equipos MOCVD y otros equipos RTP como: aixtron, lpe, premtek, amat, etc. Además, debido a su alta precisión y estabilidad de medición de temperatura, también es utilizado como estándar de temperatura por algunos fabricantes de hornos de cuerpo negro de alta temperatura, como thermogague.

Aplicaciones típicas

Parámetros técnicos