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Beijing Huacheng Electronics co., Ltd.
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Controlador de presión pc300

modelo
Naturaleza del fabricante
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Categoría de producto
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Descripción general

El controlador de presión pc300 es un controlador de presión con función de medidor de flujo completo, que se aplica principalmente en el campo de semiconductores, como en el sistema de enfriamiento de la parte posterior de la obleas, para controlar la presión del gas de enfriamiento en la parte posterior de la silicio, como helio, nitrógeno, argón y otros gases especiales.

Detalles del producto

Puntos de innovación

Digitalización completa del producto

El producto adopta un procesador, que tiene las ventajas de alta inteligencia, alta fiabilidad y mantenimiento conveniente.

Tecnología de doble control

El producto adopta la tecnología de doble control, que puede lograr indicadores de rendimiento de alta respuesta y alta precisión.

áreas de aplicación

Semiconductores - circuitos integrados

Semiconductores - Encapsulamiento

Pantalla de semiconductores

Iluminación de semiconductores

Semiconductores - Sistemas microelectromecánicos

Semiconductores de potencia

Semiconductores compuestos

Indicadores técnicos

modelo PC300
Tráfico a plena escala (10 20 50 100 200 500 5000) SCCM
Presión de rango completo (10 20 50 100) confianza
Modo de control Aguas abajo
Precisión del control de presión ±0,2% de F.S.
Controlar la repetibilidad ±0,2% de F.S.
Tiempo de respuesta <1.0 segundos
Rango de temperatura de trabajo 10 ℃ a 50 ℃
Tipo de válvula Normalmente cerrado
Tasa de fuga < 1x10-12(SCC/SEC He)