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Controlador de presión pc200

modelo
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Descripción general

El controlador de presión pc200 se utiliza para controlar y medir con precisión la presión del gas. Se utiliza principalmente en procesos de circuitos integrados con semiconductores, materiales especiales, industria química, industria petrolera, medicina, protección del medio ambiente y vacío.

Detalles del producto

Puntos de innovación

Soporte de suministro de energía dual de amplio alcance

Suministro de energía con ± 15vdc, suministro de energía de doble gama amplia, pequeña corriente y bajo consumo de energía.

Cuatro formas combinadas de voltaje analógico

Hay cuatro formas combinadas de entrada y salida de voltaje analógico, que están disponibles.

Control de presión aguas arriba y aguas abajo

El control de presión se puede realizar aguas arriba y aguas abajo, y el software puede cambiar el modo de control de presión cambiando el flujo del canal y cambiando los parámetros de control aguas arriba y aguas abajo.

áreas de aplicación

Semiconductores - circuitos integrados

Semiconductores - pantalla

Ciencias de la vida - instrumentos de análisis

Investigación científica - equipos experimentales

Indicadores técnicos

modelo PC200
Tipo de presión Presión absoluta, presión de medidores
Rango completo para controlar la presión Presión absoluta: 1000torr, 2000torr; Presión de 300kpa, 3000mbar: 500kpa
Resistencia a la presión 3 MPa
Caudal de alcance completo en la boca de la válvula 200sccm; 1, 2, 4, 5, 10, 15 y 50 SLM
Modo de control Aguas arriba y aguas abajo
Coeficiente de temperatura Cero: ±0,02% de F.s./℃; Span: ±0,04% de lectura / ℃
Resolución de presión 0,1 confianza
Precisión del control de presión ±0,5% de F.S.
Tiempo de respuesta < 1,0 S
Rango de temperatura de trabajo 5℃~50℃
Interfaz mecánica Vcr1 / 4 'conector masculino, vcr3 / 8' conector masculino
Tipo de válvula A menudo cerrado, a menudo abierto
Fugas externas < 5x10-12(Pa.m)3El/s)
Fugas internas Menos del 1,0% del caudal de alcance completo de la boca de la válvula (cuando la válvula está cerrada, el extremo de entrada es de 25 psig y el extremo de salida es atmosférico)
Fuente de alimentación + 15 ~ + 24vdc (etapa única), + 15vdc (bipolar, solo admite interfaz DB - 9 pin)
Interfaz eléctrica Conector devicenet, pin DB - 9, conector ethercat

Atención:

El controlador de presión de gas suele usar nitrógeno (n) en la fábrica.2) calibración.

La unidad de presión del gas se especifica como: Torr (torr); Mbar (mbar); KPa (kpa);

El Estado estándar se estipula como: temperatura - 273,15 K (0 ℃); Presión atmosférica - 101.325 pa (760 mm hg)

En los productos de PC electrónica de huacheng, la unidad SCCM es equivalente a "ml / min, 0 ° c, 1 atm", y la unidad SLM es equivalente a "l / min, 0 ° c, 1 atm".

F.S. (escala completa): valor de rango completo; S.p. (set point): establecer un valor de punto fijo