Controlador de presión pc100

NegociableActualización en01/07

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Descripción general

El controlador de presión pc100 es un producto digital de control de presión que proporciona alta precisión y alta fiabilidad para el control y la medición de la presión del gas. Puede soportar señales digitales y señales analógicas de 0 a 5v al mismo tiempo, utilizando una sola fuente de alimentación para suministrar energía. Además, el Protocolo de comunicación abierto estándar puede facilitar que los clientes desarrollen su propio software de control y adquisición.

Detalles del producto

Puntos de innovación

Tecnología de detección de presión basada en PTS

Por un lado, a través de la optimización de dos parámetros de presión y temperatura, se establece una plantilla de datos de presión y temperatura para calcular la tabla de coeficiente de compensación para la compensación de temperatura; Por otro lado, al mejorar la posición de instalación del sensor y reducir el volumen de la cavidad de detección, la medición de la señal del sensor es más precisa y precisa para controlar la presión.

Tecnología de control de presión basada en Ia

Al establecer un modelo de datos de fluctuación de presión, se identifican rápidamente patrones como fluctuación de presión de flujo fijo y fluctuación de flujo de presión fija. De acuerdo con los diferentes modos, se adopta el método de aumentar o reducir el voltaje de la válvula para ajustar la EIP de presión, que tiene las características de respuesta rápida y control estable.

Tecnología de resistencia a la corrosión de todo el metal

Se adopta la tecnología de válvula reguladora de presión proporcional de flúor de revestimiento integrado. La estructura de sellado de la válvula utiliza principalmente acero inoxidable 316L y materiales de tetrafluorocarburo (ptfe). El material de PTFE puede mejorar la vida útil del producto y es adecuado para varios tipos de gases corrosivos, mientras que la estanqueidad es mejor que la del sello metálico.

áreas de aplicación

Semiconductores - pantalla

Semiconductores - circuitos integrados

Semiconductores - iluminación

Energía limpia - fotovoltaica

Indicadores técnicos

modelo	PC100
Tipo de presión	Presión absoluta
Rango completo para controlar la presión	1000Torr y 1200mbar
Resistencia a la presión	3 MPa
Caudal de alcance completo en la boca de la válvula	50, 500sccm; 1, 2, 3 y 5 SLM
Modo de control	Aguas arriba
Coeficiente de temperatura	Cero: ± 0,02% de F.s. / ℃; Span: ±0,04% de lectura / ℃
Resolución de presión	0,1 confianza
Precisión del control de presión	±1,0% de lectura (≥10% FS); ±0,2% de F.S. (<10% FS)
Tiempo de respuesta	< 1,0 S
Rango de temperatura de trabajo	10℃~50℃
Interfaz mecánica	Doble manga de tarjeta 1 / 4 ", VCR 1 / 4" conector masculino
Tipo de válvula	A menudo cerrado
Fugas externas	< 1x10^-10(scc/sec El)
Fugas internas	Menos del 1,0% del caudal de alcance completo de la boca de la válvula (cuando la válvula está cerrada, el extremo de entrada es de 25 psig y el extremo de salida es atmosférico)
Fuente de alimentación	+15 ~ +24 VDC (<4 vatios)
Interfaz eléctrica	DB - 9 pin, conector ethercat

Atención:

El controlador de presión de gas suele usar nitrógeno (n) en la fábrica.₂) calibración.

La unidad de presión del gas se especifica como: Torr (torr); Mbar (mbar)

El Estado estándar se estipula como: temperatura - 273,15 K (0 ℃); Presión atmosférica - 101.325 pa (760 mm hg)

En los productos de PC electrónica de huacheng, la unidad SCCM es equivalente a "ml / min, 0 ° c, 1 atm", y la unidad SLM es equivalente a "l / min, 0 ° c, 1 atm".

F.S. (escala completa): valor de rango completo; S.p. (set point): establecer un valor de punto fijo

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