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Ns3800 Microscopio confocal láser 3D de alta velocidad

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Descripción general

El Microscopio confocal láser 3D de alta velocidad ns3800 es un microscopio 3D de alta velocidad desarrollado especialmente por la compañía coreana nanoscopia Systems para el Instituto de materiales de baja dimensión. En comparación con el perfilador de sonda 3D tradicional, el ns3800 utiliza un láser de 405 nm como fuente de luz para la detección sin daños sin contacto directo con la superficie de la muestra, por lo que no daña la superficie de la muestra, y la precisión de medición es mucho mayor que la del perfilador de sonda.

Detalles del producto

Ns3800 Microscopio confocal láser 3D de alta velocidadEs un microscopio de escaneo láser confocal de alta velocidad (clsm) de medición tridimensional (3d) preciso y confiable. La imagen microscópica confocal en tiempo real se realiza a través del módulo de escaneo óptico rápido y el algoritmo de procesamiento de señales. Cuenta con soluciones para medir y detectar estructuras microscópicas tridimensionales como obleas semiconductoras, productos fpd, equipos microelectrónicos, sustratos de vidrio, superficies de materiales, etc.

Características & benefits (rendimiento y ventajas):

Compensación automática de inclinación para la medición óptica 3D sin daños de alta resolución

Un simple modo de análisis de datos para imágenes confocales en tiempo real

Una variedad de zoom óptico doble escaneo Z

Detección de características de sustratos translúcidos empalmados a gran escala

No hay preparación de muestras para imágenes de campo brillante y enfoque común de CLD en tiempo real

Enfoque automático

Campo de aplicación (campo de aplicación):

El NS - 3500 es una solución prometedora para medir materiales de baja dimensión.

Se pueden medir la altura, el ancho, el ángulo, el área y el volumen de las estructuras de micras y submicrones, por ejemplo

- semiconductores: gráficos ic, altura cóncava y convexa, altura de la bobina, detección de defectos, proceso cmp

- productos fpd: detección de pantalla táctil, patrón ito, altura de separación de columnas LCD

- dispositivos microelectrónicos: esquema tridimensional de la estructura, rugosidad de la superficie, gráficos microelectrónicos

- superficie de vidrio: células solares de película delgada, textura de las células solares, patrón láser

- Investigación de materiales: detección de la superficie del molde, rugosidad, análisis de grietas

Dimensión (tamaño):

Ns3800 Microscopio confocal láser 3D de alta velocidadEspecificación (especificaciones):

modelo

Microscopio NS-3800

Nota

Multiplicación del objetivo

10x

20 veces

50 veces

100x


Alcance de la Observación / medición

Nivel (h): Mu m

1400

700

280

140


垂直 (V): μm

1050

525

210

105


Rango de trabajo: mm

16.5

3.1

0.54

0.3


Apertura numérica (n.a.)

0.30

0.46

0.80

0.95


Zoom óptico

x1 a x6


Ampliación total

178x to 26700x


Sistema óptico de Observación / medición

Sistema óptico de enfoque común pinhole


Medición de la altura

Rango de escaneo de medición

Escáner fino: 100 μm (y/o) Escáner largo: 7 mm [NS-3800L]

Nota 1

Escáner fino: 400 μm (y/o) Escáner largo: 10 mm [NS-3800D]

Escáner fino: 200 μm (y/o) Escáner largo: 10 mm [NS-3800T]

Resolución de visualización

0,001 μm


Tasa de repetición Sigma

0,010 μm

Nota 2

Medición del ancho

Resolución de visualización

0,001 μm


Tasa de repetición 3 sigma

0,02 μm

Nota 3

Memoria de fotogramas

Píxeles

1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96


Imagen monocromática

12 bits


Imágenes en color

8 bits para RGB cada uno


Medición de la altura

16 bits


Tasa de fotogramas

Escaneo de superficie

20 Hz a 160 Hz


Escaneo de línea

~ 8 kHz


Función automática

Ganancia automática


Fuente de luz de medición confocal láser

Longitud de onda

de 405 nm


salida

~ 2mW


Nivel láser

Clase 3b


Elemento receptor láser

PMT (tubo fotomultiplicador)


Fuente de luz de observación óptica

luz

LED de 10W


Cámara de observación óptica

Elemento de imagen

Sensor de transferencia de imagen en color de 1 / 2 "


Resolución de registro

640x480


Ajuste automático

Ganancia, velocidad del obturador, balance blanco


Unidad de procesamiento de datos

PC


Fuente de alimentación

voltaje

100 to 240 VAC, 50/60 Hz


corriente eléctrica

500 VA máx.


peso

microscopio

Aprox. ~50 kg

(Unidad de cabezal de medición: ~12 kg)


controlador

~ 8 kg


Sistema de aislamiento de vibraciones

Sistema de aislamiento de vibraciones flotantes de aire

Opción


Nota 1: el escaneo fino es realizado por un ejecutor piezoeléctrico (pzt).

Nota 2: se miden 100 veces las muestras estándar (paso de 1 micra) con una lente de 100 × / 0,95.

Nota 3: se miden 100 veces las muestras estándar (a una distancia de 5 micras) con una lente de 100 × / 0,95.