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Escáner láser 3D sin contacto ns3500 G grande

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Descripción general

El NS - 350g es un escáner tridimensional confiable sin contacto. La imagen microscópica confocal en tiempo real se realiza a través del módulo de escaneo óptico rápido y el algoritmo de procesamiento de señales. Cuenta con soluciones para medir y detectar estructuras microscópicas tridimensionales como obleas semiconductoras, productos fpd, equipos microelectrónicos, sustratos de vidrio, superficies de materiales, etc.

Detalles del producto

Escáneres láser 3D sin contacto ns350g grandes

NS-3500GEs un escáner tridimensional confiable sin contacto.La imagen microscópica confocal en tiempo real se realiza a través del módulo de escaneo óptico rápido y el algoritmo de procesamiento de señales. Cuenta con soluciones para medir y detectar estructuras microscópicas tridimensionales como obleas semiconductoras, productos fpd, equipos microelectrónicos, sustratos de vidrio, superficies de materiales, etc.


Características y Beneficios(rendimiento y ventajas):

  • Compensación automática de inclinación para la medición óptica 3D sin daños de alta resolución

  • Imágenes confocales en tiempo realUn modelo simple de análisis de datos

  • Múltiples zooms ópticosDoble escaneo Z

    Empalme a gran escalaDetección de características de sustratos translúcidos

  • Tiempo realImagen de campo brillante y enfoque común de la Cámara de transferenciaSin preparación de muestras

  • Enfoque automático


Campo de aplicación(Área de aplicación):

El NS - 3500 es una solución prometedora para medir materiales de baja dimensión.

Se pueden medir la altura, el ancho, el ángulo, el área y el volumen de las estructuras de micras y submicrones, por ejemplo

- semiconductores: gráficos ic, altura cóncava y convexa, altura de la bobina, detección de defectos, proceso cmp

- productos fpd: detección de pantalla táctil, patrón ito, altura de separación de columnas LCD

- dispositivos microelectrónicos: esquema tridimensional de la estructura, rugosidad de la superficie, gráficos microelectrónicos

- superficie de vidrio: células solares de película delgada, textura de las células solares, patrón láser

- Investigación de materiales: detección de la superficie del molde, rugosidad, análisis de grietas


Especificación (especificaciones):

modelo

Microscopio NS-3500

Nota


Controlador NS-3500E

Multiplicación del objetivo

10x

20 veces

50 veces

100x

150x


Alcance de la Observación / medición

Nivel (h): Mu m

1400

700

280

140

93


垂直 (V): μm

1050

525

210

105

70


Rango de trabajo: mm

16.5

3.1

0.54

0.3

0.2


Apertura numérica (n.a.)

0.30

0.46

0.80

0.95

0.95


Zoom óptico

x1 a x6


Ampliación total

178x to 26700x


Sistema óptico de Observación / medición

Sistema óptico de enfoque común pinhole


Medición de la altura

Rango de escaneo de medición

Escaneo largo: 10 mm [ns - 3500 - t]


Resolución de visualización

0,001 μm


Tasa de repetición Sigma

0,010 μm

Nota 1

Medición del ancho

Resolución de visualización

0,001 μm


Tasa de repetición 3 sigma

0,02 μm

Nota 2

Memoria de fotogramas

Píxeles

1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96


Imagen monocromática

12 bits


Imágenes en color

8 bits para RGB cada uno


Medición de la altura

16 bits


Tasa de fotogramas

Escaneo de superficie

20 Hz a 160 Hz


Escaneo de línea

~ 8 kHz


Función automática

Ganancia automática


Fuente de luz de medición confocal láser

Longitud de onda

de 405 nm


salida

~ 2mW


Nivel láser

Clase 3b


Elemento receptor láser

PMT (tubo fotomultiplicador)


Fuente de luz de observación óptica

luz

LED de 10W


Cámara de observación óptica

Elemento de imagen

Sensor de transferencia de imagen en color de 1 / 2 "


Resolución de registro

640x480


Ajuste automático

Ganancia, velocidad del obturador, balance blanco


Unidad de procesamiento de datos

PC


Fuente de alimentación

tensión de alimentación

100 to 240 VAC, 50/60 Hz


Consumo actual

500 VA máx.


peso

microscopio

Aprox. ~200 kg

(Unidad de cabezal de medición: ~12 kg)


controlador

~ 8 kg



Nota 1: 100 mediciones de muestras estándar (paso 1 μm) con una lente de 100 × / 0,95

Nota 2: se miden 100 veces las muestras estándar (a una distancia de 5 micras) con una lente de 100 × / 0,95.