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Modelo 656 medidor de intensidad y energía ultravioleta

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Descripción general

El medidor de intensidad y energía ultravioleta Model 656 está diseñado y fabricado por oai. $r $n es adecuado para el medidor de intensidad y energía ultravioleta 656 de todas las fotolitografías de paso de obleas.

Detalles del producto

Model 656 紫外线光强与能量计


Modelo 656 medidor de intensidad y energía ultravioleta

Durante más de medio siglo, OAI se ha utilizado en el campo de los instrumentos de medición de intensidad y energía ultravioleta para procesos de litografía confiables y precisos en semiconductores, Sistemas microelectromecánicos (microelectromecánicos), encapsulamiento de obleas y fabricación de protuberancias de obleas. El nuevo modelo 656 es un analizador de exposición ultravioleta * diseñado especialmente para alineadores de máscaras de contacto / proximidad y sistemas de exposición a inundaciones. El instrumento puede almacenar hasta 400 grupos de lecturas expuestas y está equipado con una interfaz Ethernet y USB para descargar los datos de medición registrados, con un rango de intensidad de hasta 2.000 MW por centímetro cuadrado. Las longitudes de onda opcionales de la sonda incluyen 220 nanómetros, 248 nanómetros, 260 nanómetros, 310 nanómetros, 325 nanómetros, 365 nanómetros, 380 nanómetros, 400 nanómetros, 420 nanómetros, 436 nanómetros y 540 nanómetros. OAI cuenta con un laboratorio de calibración completo para garantizar el rendimiento, la calidad y la fiabilidad de nuestros instrumentos. El instrumento 656 es rastreable hasta las normas del Instituto Nacional de normas y tecnología (nist) de los Estados Unidos y cumple con los requisitos de certificación RoHS 2 de la UE (segunda edición de la Directiva sobre la restricción del uso de ciertos ingredientes nocivos en equipos electrónicos y eléctricos) y CE (evaluación Europea de la conformidad).

Uso con alineador de contacto / proximidad

Extremadamente preciso y confiable

Los datos de medición son fáciles de descargar

Alcance hasta 2.000 MW por centímetro cuadrado

Se pueden almacenar hasta 400 conjuntos de datos de medición

Cumplir con los estándares rohs2 (segunda edición de la Directiva sobre la restricción del uso de ciertos ingredientes nocivos en equipos electrónicos y eléctricos) y CE (evaluación Europea de la conformidad), destacando los atributos del producto en términos de protección ambiental y cumplimiento, para ilustrar escenarios de adaptación del instrumento, ventajas de rendimiento y cumplimiento.

Descripción de las especificaciones del medidor de intensidad y energía ultravioleta Model 656

Especificaciones del instrumento

Interfaz de usuario: pantalla táctil

Interfaz informática: interfaz Ethernet y USB opcional para descargar datos de medición registrados

Fuente de alimentación: fuente de alimentación de la batería, con batería de iones de litio recargable de 3,7v con protección de carga

Fuente de alimentación del cargador: 110 - 240v AC

Configuración de la pantalla: doble pantalla

Configuración de la pantalla - dirección, fecha y hora Ethernet

Pantalla de funcionamiento - longitud de onda, intensidad, tiempo, dosis, temperatura de la sonda, tipo de sonda, porcentaje de desviación, número de serie, fecha de caducidad de calibración, Estado de la batería, número de serie de la sonda y estado del cargador

Capacidad de almacenamiento: hasta 400 lecturas

Rango de intensidad de la luz: hasta 2000mw / CM 2

Resolución de la intensidad de la luz: 0,01 mW / CM 2

Rango de dosis: hasta 1000j / CM 2

Resolución de dosis: 0,01 MJ / CM m2

Rango de tiempo: hasta 9999 segundos

Resolución temporal: 00001 segundos

Exposición a dosis mínimas: 25 milisegundos

Tamaño: 14 pulgadas por 8,25 pulgadas por 3,5 pulgadas

Peso: 3,5 libras

Entorno de trabajo: 15 ℃ - 40 ℃.

Cumplimiento: cumplir con los estándares rohs2 y CE (compatibilidad electromagnética y seguridad)

Especificaciones de la sonda

Detector de sonda: Fotodetector de silicio

可选波长: 220nm, 248nm, 254nm, 260nm, 310nm, 325nm, 365nm, 380nm, 400nm, 420nm, 436nm 和 540nm

Filtro: filtro absorbente multicapa / dieléctrico

Rango de intensidad de la luz: hasta 2000mw / CM 2

Intercambiabilidad: cualquier sonda 656 se puede usar con cualquier instrumento 656

Cumplimiento: cumplir con los estándares rohs2 y CE (compatibilidad electromagnética y seguridad)