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¿¿ qué?Gosmo (chengdu) International Trade co., Ltd.
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Medidor de espesor de película microespectral
Medidor de espesor de película microespectral
● El medidor de espesor de película óptica de la serie optm es un nuevo medidor de espesor de película óptica de alta precisión y relación calidad - precio que puede reemplazar el elipsometro para probar el espesor de la película, el índice de refracción n, el coeficiente de extinción K y la reflectividad absoluta. Es adecuado para la prueba de varias películas transparentes y tiene la capacidad de eliminar el reflejo de la parte posterior del sustrato transparente, logrando así el propósito de la prueba de "reflectividad real y espesor de la película". Además, el software es fácil de operar, fácil de usar y simplifica el complejo proceso de modelado.
● sin contacto, sin destrucción, la cabeza de medición se puede integrar libremente en el sistema del cliente
● Los principiantes también pueden analizar fácilmente el modo de análisis de los principiantes de modelado
● medición de alta precisión y alta reproducibilidad de la reflectividad absoluta dentro de la banda ultravioleta a infrarrojo cercano, que puede analizar el espesor de la película multicapa y las constantes ópticas (n: índice de refracción, k: coeficiente de extinción)
● El enfoque de un solo punto y la medición se completan en 1 segundo
● sistemas ópticos de amplia gama bajo microlitografía (ultravioleta a infrarrojo cercano)
● el cabezal de prueba independiente responde a diversas necesidades personalizadas en línea
● el punto mínimo correspondiente es de aproximadamente 3 μm
Proyecto de medición
● análisis de la reflectividad absoluta
● análisis de películas multicapa (50 capas)
● constantes ópticas (n: índice de refracción, k: coeficiente de extinción)
Las muestras de sustrato transparente, como la película o el vidrio, no se pueden medir correctamente debido a la reflexión interna del sustrato. La serie optm utiliza lentes objetivo que eliminan físicamente el reflejo interno y permiten mediciones de alta precisión incluso en sustratos transparentes. Además, para muestras como películas ópticas heterogéneas o sic, las películas superiores también se pueden medir por separado sin verse afectadas por ellas.
(no. 5172203)
Alcance de la aplicación
● semiconductores, semiconductores compuestos: semiconductores de silicio, semiconductores de carburo de silicio, semiconductores de arsénico y galio, fotorresistentes, materiales de constante dieléctrica
● fpd: lcd, tft, OLED (el orgánico)
● almacenamiento de datos: dvd, película de cabeza magnética, material magnético
● materiales ópticos: filtros ópticos, película antirreflectante
● pantalla plana: pantalla lcd, Transistor de película delgada, OLED
● películas: películas ar, películas hc, películas pet, etc.
● otros: materiales de construcción, pegamento, dlc, etc.
OPTM-A1 |
OPTM-A2 |
OPTM-A3 |
|
|---|---|---|---|
Rango de longitud de onda |
230 ~ 800 nm |
360 ~ 1100 nm |
900 ~ 1600 nm |
Rango de espesor de la película |
1 nm ~ 35 μm |
7nm ~ 49μm |
16nm ~ 92μm |
Tiempo de determinación |
Dentro de 1 segundo / 1 punto |
||
Tamaño del diámetro de la luz |
10 μm (min. aproximadamente 3 μm) | ||
Elemento sensible a la luz |
CCD |
InGaAs |
|
Especificaciones de la fuente de luz |
Lámpara de deuterio halógeno |
Lámparas halógenas |
|
tamaño |
556 (w) x 566 (d) x 618 (h) mm (parte principal del tipo de plataforma XY automática) | ||
peso |
66 kg (parte principal del tipo de plataforma XY automática) |
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Marcas de agencia: CCS Xi Speed Sen rison, Eye iwasaki, revox lebox, seric solek
Sonic sonic, sanko sangao, newkon xinguang, NPM sunmai, Sugiyama Sugiyama
NS Japan science, dry - Cabi donglifan, tokisangyo dongji, sibata chaida
Marcas dominantes: ushio niuwei, topcon topcon, funatech Shipbuilding yuelong, ORC oasi, Hayashi Lin Shiji
Sagade, sakazume sakaki, DNP Big Japan research, Tokyo Denshoku electrocolor, KKIMAC
S - vans swans, orihara zheyuan, CEO de Lu jiou, hikariya Optics house, Yamada Optics
Y aid, T & D tiante, jikco jigao, DKK - Toa East Asia radio, Okano Okano
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