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Equipo de medición de morfología tridimensional de la serie mts

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Equipo de medición de morfología tridimensional de la serie mts: el sensor de desplazamiento confocal espectral es un dispositivo que establece la relación correspondiente entre la distancia y la longitud de onda a través del principio de dispersión óptica y utiliza un espectrómetro para decodificar la información espectral para obtener información de posición.
Detalles del producto

Equipo de medición de morfología tridimensional de la serie mts: estructura del sensor confocal espectral

El sensor de desplazamiento confocal espectral es un dispositivo que establece la relación correspondiente entre la distancia y la longitud de onda a través del principio de dispersión óptica y utiliza un espectrómetro para decodificar la información espectral, obteniendo así la información de posición.

En el sistema de sensores de desplazamiento confocal espectral,

El rango de medición del sistema se ve afectado por cuatro factores:

1. rango de distribución espectral de la fuente de luz

2. diferencia de color axial de la lente dispersa dentro del rango de banda de trabajo

3. banda de trabajo del espectrómetro

4. banda de trabajo del acoplador de fibra óptica

MTS系列三维形貌量测设备


Ventaja confocal espectral

Sensor confocal espectral multifuncional


Nuestros sensores confocales fotosumergibles se centran en la luz blanca a diferentes distancias en lugar de en un solo punto a lo largo del eje de la señal a través de lentes ópticas de alta calidad, y todas las bandas de luz visible están en el foco. Este sensor óptico multifuncional ha abierto nuevas dimensiones para la tecnología de medición de wen.


· cualquier material se puede probar - material no transparente / transparente, reflexión difusa / reflexión, absorción, color, áspero / pulido

· las pruebas en línea evitan el impacto de las sombras

· La aceptación del plano inclinado y la apertura numérica hacen que el ángulo medible alcance los 45 ° En la superficie reflectante y la superficie de la tasa de difusión sea superior a 80 °.

· resolución y precisión del eje z - sin escaneo del eje Z para obtener los resultados de la prueba, cada punto de prueba puede transmitir un valor de prueba

· los sensores de matriz lineal multipunto con velocidad de prueba súper rápida permiten pruebas paralelas multipunto

· tamaño de punto pequeño y constante para lograr una alta resolución lateral

· La sonda óptica es pasiva y no necesita mover ningún componente o incrustar electricidad

Carretera - garantiza una alta estabilidad térmica, fiabilidad y repetibilidad a largo plazo


MTS系列三维形貌量测设备


Comparación de los métodos de medición


Microscopio digital

- la morfología de la superficie requiere una superposición de profundidad de campo, lenta - campo de visión pequeño

- la precisión del escaneo depende del motor del eje Z y de la profundidad del campo del objetivo

Microscopio confocal láser

La morfología de la superficie requiere un escaneo capa por capa, lento - campo de visión pequeño

- Medición de datos artificiales

Confocal espectral tipo reflejo triangular

- resolución del eje Z más baja

- escaneo de zonas ciegas propensas a la aparición

- el material transparente y el material espejo no funcionan bien

Interferencia de luz blanca

- altos costos de uso y mantenimiento

- no apto para muestras de mayor tamaño y muestras de mayor ondulación

- no funciona bien con muestras con superficies relativamente ásperas



Ventajas de MTS

Medición no destructiva sin contacto

Resolución del eje Z de hasta 20 nm

Aceleración más rápida sin superposición de profundidad de campo

La reflectividad de la superficie de la muestra no está limitada

Proporciona toda la información en tres dimensiones de la superficie

Área de escaneo personalizable

Acceso a q - DTS

Se puede acceder a Xili aguacate ai


MTS系列三维形貌量测设备MTS系列三维形貌量测设备

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Equipo de medición de morfología tridimensional de la serie mtsParámetros técnicos



MTS 01

MTS 02

Módulo óptico

Rango 1 / MM

0.2

1

0.24

0.6

10.6

Puntos / líneas

192

1200

Longitud de la línea / MM

0.96

1.91

1.18

2.36

11.9

Intervalo de puntos / Mu m

5

10

0.98

1.97

9.9

Resolución del eje z / NM

20

80

25

50

800

Precisión 2 / NM

± 80

± 300

± 125

± 250

± 4.000

Plataforma eléctrica de cuatro ejes

Tasa de muestreo / Hz

6000

36000

Recorrido del eje XY / MM

350X350

Precisión de posicionamiento del eje XY / Mu m

± 0,3

Precisión de posicionamiento repetida del eje XY / Mu m

± 0,15

Recorrido del eje z / MM

5 mm

Precisión de posicionamiento del eje z / Mu m

± 0,2

Precisión de posicionamiento repetida del eje z / Mu m

± 0,1

Precisión de posicionamiento del eje t

±2 segundos de arco

Precisión de posicionamiento repetida del eje t

±1 arcsec

Velocidad de escaneo / MM / s

80

Cámara de posicionamiento 2d

Píxeles válidos

2464 × 2056

Tamaño del campo de visión

8.6x7.2mm

fuente de luz

Luz de punto LED

Sistema de software

Función de adquisición confocal espectral

Adquisición de mapas de navegación, función de posicionamiento

Opcional con módulo de interconexión de datos q - dts, aguacate ai

Medición 2d & 3D

Herramientas de medición de longitud, anchura, altura, ángulo, volumen, etc.

Sistema informático

Funciones de software personalizables

Salida del informe

Word, microsoft, etc.

① por encima de 2khz, el rango de prueba disminuye con el aumento de la frecuencia.

② medición del espejo vertical a 20 ° C

Los datos dados provienen de pruebas en aplicaciones típicas, que serán diferentes de las pruebas en otros casos específicos. Los errores de impresión posteriores, las revisiones y las actualizaciones también pueden causar diferencias con los parámetros técnicos enumerados en la tabla. Por lo tanto, no se garantiza la consistencia de los parámetros técnicos, los resultados de las mediciones y la información dada por este producto en el formulario.