Sistema de exposición de haz de electrones JC nabity (generador nanográfico npgs)

Sistema de exposición de haz de electrones npgs v9.1 modificado basado en SEM / FIB

1) el npgs se basa en sem, stem o FIB existentes, además del sistema de control de haz de electrones, que controla el escaneo vectorial del haz de electrones en el espejo eléctrico a través de la interfaz del ordenador para grabar directamente la imagen.

2) el sistema npgs tiene la función de observación del SEM original. No afecta a la función del propio sem.

3) potente, fácil de operar y flexible de usar.

4) npgs y Sem o FIB convencionales de hoy pueden ser compatibles.

Npgs v9.0 es un programa de software que puede controlar el haz de electrones de la microscopía electrónica de barrido. La exposición del haz de electrones basada en la microscopía electrónica se divide simplemente en dos partes: diseño de grabado y operación gráfica. El diseño de grabado se realiza a través del programa Design CAD proporcionado aleatoriamente por npgs. Este programa CAD ha sido modificado para agregar órdenes para la exposición de haz de electrones. La operación gráfica incluye la configuración de parámetros para que npgs calcule la posición de cada punto en el gráfico y el tiempo de exposición.

Tarjeta de hardware npgs: la tarjeta de litografía personalizada se instala sobre la base de una ranura PCIe de alta velocidad dentro de una estación de trabajo informática. Las principales características son:

1. se utiliza una salida de conversión digital - analógico de alta velocidad de 16 bits, salida simultánea de canales X e y, frecuencia de escaneo simultánea de 5 mhz, compatible con 6 mhz, aumento mínimo del tiempo de residencia del haz de electrones de 0,5 nanosegundos, y esta resolución se puede alcanzar en todas las frecuencias.

2. método de escaneo de grabado: método de escaneo vectorial y método de escaneo de mapa de bits.

3. la puerta de haz de electrones integrada controla la salida.

4. la adquisición de imágenes utiliza una entrada integrada de conversión analógico - digital de 16 bits.

5. basado en la ranura pcie, la instalación es conveniente y el funcionamiento es confiable.

Bloqueador de haz de electrones (puerta de haz): puerta de haz de alta velocidad tipo campo eléctrico. El sistema npgs también admite el funcionamiento de puertas sin haz.

Picoamperímetro: el sistema de exposición de haz de electrones basado en Sem requiere un picoamperímetro que lea con precisión el flujo de haz de electrones que bombardea la muestra. Por lo general, es necesario conectar un pianómetro fuera de la Plataforma de carga del microscopio electrónico a la salida de corriente de la muestra.

Haz de microscopía electrónica: el npgs puede conectarse de forma opcional para controlar la Copa Faraday y / o leer desde el picoamperímetro, pero la mayoría de los usuarios utilizarán la Copa Faraday y el picoamperímetro controlados manualmente.

Parámetros del microscopio electrónico y control de la Plataforma eléctrica: se proporcionan varios conductores digitales generales del microscopio electrónico y conductores de la Plataforma de carga de forma gratuita. Si hay un Protocolo de comunicación en serie, este sistema admite cualquier control externo.