Sistema inteligente pecvd

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Descripción general

El pecvd - III - 500a - d210 es un sistema inteligente de pecvd. El equipo se divide principalmente en cuatro partes: horno tubular de zona de temperatura múltiple, componentes de radiofrecuencia, sistema de circuito de gas y sistema integrado de software de control automatizado.

Detalles del producto

El equipo se divide principalmente en cuatro partes: horno tubular de zona de temperatura múltiple, componentes de radiofrecuencia, sistema de circuito de gas y sistema integrado de software de control automatizado.

1. horno de calentamiento abierto

El horno de calentamiento adopta material de fibra de alúmina ultraligera, equipado con un par de tipo K y un control de temperatura de 6 puntos; El control de elevación y temperatura del equipo es flexible, y el horno de calentamiento se puede abrir electrónicamente para facilitar a los clientes reemplazar y reparar el tubo de reacción.

2. sistema de vía de gas

El medidor de flujo de masa puede controlar con precisión la proporción de mezcla de gas multicanal de acuerdo con diferentes caudales, y otro solo 1 puede entrar en el tubo de reacción después de pasar por el burbujeo.

3. componentes de radiofrecuencia

El brillo de radiofrecuencia de alto rendimiento de 1000w es uniforme, lo que permite que toda la cavidad de reacción se encuentre en la zona de generación de brillo.

4. sistema de control inteligente

Se adopta el control difuso inteligente de la EIP y el control programable de 30 secciones. Tiene una función de alarma de desconexión súper suave.

Temperatura máxima	1200℃
Temperatura de funcionamiento continuo	≤1100℃
Tasa de calentamiento	≤10℃/min
Precisión del control de temperatura	±1℃
Elemento de calefacción	Alambre de Resistencia
Termómetro	Tipo K
Modo de control de temperatura	Control difuso de la EIP y ajuste de ajuste automático, control programable de 30 secciones de inteligencia artificial, con función de alarma de desconexión súper suave, interfaz hombre - máquina más control lógico, control de pantalla LCD de 15 pulgadas, doble control de instrumentos digitales de control industrial, doble control con termómetros y software de control inteligente industrial para lograr doble control
Potencia total de calentamiento	≤15KW
Tamaño de la zona de calefacción	300 + 300 + 300 mm
Potencia de radiofrecuencia	1000W
Tamaño del equipo	2550 * 850 * 1600mm
Peso del equipo	Unos 600 kg

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