Horno de vacío hmds

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Descripción general

El horno hmds, el horno de vacío hmds, se aplica a la superficie de la muestra, y el calentamiento del horno puede producir un compuesto basado en siloxano, convirtiendo la superficie de la muestra de hidrofílica a hidrofóbica, que puede unirse bien al fotorresistente, aumentando la adherencia de la superficie de la muestra al fotorresistente.

Detalles del producto

Horno hmds,Horno de vacío hmdsAplicación del producto: La adherencia del sustrato antes de homogeneizar la pasta,Tratamiento de "adición"

Para la mayoría de los fotorresistentes yEn el caso de los sustratos si, su adherencia es generalmente buena, pero en la litografía, generalmente se utilizan algunos sustratos como zafiro, nitruro de galio, arsénico de galio e incluso películas de metales preciosos. la adherencia de este tipo de sustratos a los fotorresistentes a menudo no es ideal, lo que puede causar problemas como "grietas" o incluso blanqueadores en los enlaces de Desarrollo fotograbado posteriores. Por lo tanto, debe mejorarse por medios tecnológicos, este paso lo llamamos tratamiento de adición o ayuda a la adherencia.

La sílice presente en forma de óxido (oxidación natural) de una superficie de cuarzo, vidrio o silicio y la mayoría de los metales forman polaridades en su superficie tras estar expuestos a la atmósfera durante un tiempo suficiente a una cierta humedadEnlace oh. Este sustrato es hidrofílico, por lo que tiene una mala afinidad con las moléculas de resina no polar o de Baja polar del fotorresistente. Para que la superficie de tal sustrato sea hidrofóbica, moléculas no polares como hmds pueden adherirse a su superficie por métodos químicos.

El hmds se une a los átomos de si en una superficie libre de oxígeno y se une a los átomos de oxígeno en la superficie del Grupo de óxido (si es necesario, descomposición del Grupo oh) para liberar amoníaco. El metileno no polar aísla directamente la superficie del sustrato para formar una superficie hidrofóbica, que tiene una buena humectabilidad y adherencia al fotorresistente.

Horno de vacío hmdsPrincipio de funcionamiento:

A temperatura ambiente,El vapor hmds se transporta en un "espumante" a través de nitrógeno seco y luego se transfiere a una matriz calentada (75 - 120 ° c), donde el hmds se une químicamente como una sola película en la superficie del sustrato.

Si el líquidoEl hmds se aplica directamente al sustrato, y la capa hmds solo puede desempeñar un papel de capa de adhesión física y no mejora la adherencia; En segundo lugar, la capa hmds libera amoníaco durante el proceso de horneado delantero, entrando en la capa fotorresistente entrelazada desde cerca del sustrato, controlando así el proceso de desarrollo.

Características del producto:

Estructura de apariencia:

★ la carcasa está pintada después de un tratamiento antioxidante superficial, como corte, pulido, lavado ácido y fosfatación de placas de acero laminadas en frío a3, y el estudio utiliza sus316 placas de acero inoxidable limpias completamente soldados, tratamiento de sellado resistente a altas temperaturas, fortaleciendo la estructura para garantizar que la Caja cambie invisiblemente a alta presión.

★ el estudio es de alta estanqueidad y la fuga de gas puede alcanzar los 100 PA / H.

★ ventana de Observación de vidrio templado a prueba de explosiones de doble capa, puerta interior de vidrio a prueba de explosiones de 10 mm.

★ la capa de aislamiento térmico adopta un material de aislamiento térmico de fibra de silicato de aluminio de alta densidad de 100 mm de espesor y 100 k, y el efecto de aislamiento térmico es bueno.

★ el sello del marco de la puerta utiliza tiras de sellado de caucho de silicona sin flúor, que son resistentes a altas temperaturas y Envejecimiento.

Sistema de control de temperatura:

★ calentador heterosexual de acero inoxidable, que rodea la pared exterior del estudio y se calienta en todos los lados.

★ interfaz hombre - máquina de 7 pulgadas, control PLC + IDP + ssr, ancho de pulso cíclico sin contacto ssr, cálculo inteligente idp, temperatura constante automática, supresión de temperatura excesiva, alarma de desconexión del sensor, memoria de corte de energía, control de temperatura preciso, control simple.

★ se pueden configurar varios modos de operación de acuerdo con el proceso.

★Alta precisiónSensor de temperatura de resistencia de platino blindado de acero inoxidable Pt100

Sistema de seguridad:

★ cerradura de botón

★ alarma de nivel hmds

★ protección contra la sobretemperatura

★ protección contra sobrecarga de corriente

★ protección de la secuencia de fases

★ protección contra fugas eléctricas

★ protección a tierra

Especificaciones y parámetros:

Modelo del dispositivo modelo	HMDS-1
Rango de control de temperatura Rango de temperatura de funcionamiento	RT + 10 ~ 200 ℃
Resolución de temperatura Resolución de temperatura	0.1℃
Fluctuación de la temperatura Estabilidad de control	±0.5℃
Bomba de vacío Bomba de vacío	Bomba de vacío seca 4L / min
真空度 Vgrado acuum	III.133pa (1mmHg / 1.33mbar) / > 1012mbar
Interfaz de nitrógeno Interfaz de nitrógeno	Φ8mm
Tamaño interior Tamaño de la cámara	W450 * D450 * H450mm
Tamaño exterior Tamaño total	W1100 * D800 * H1500mm
Estante de capas Número de palets	2PSC
Fuente de alimentación Fuente de alimentación	AC380V 50HZ
potencia Potencia de calefacción	3.5KW
Modo de funcionamiento Modo de operación	El control de plc, la configuración manual del proceso, la operación automática
Interfaz de operación Interfaz de operación	Controlador de interfaz hombre - computadora HMI de pantalla táctil de 7 pulgadas (programable, con curva histórica, función de almacenamiento usb)

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