| Visión general |
|
| Grado de libertad |
1 |
| Recorrido [mm] |
± 5 |
| Elevación[N] |
8 |
|
Tamaño inicial[mm]
|
50 x 61 x37
|
| Peso [g] |
165 |
| 定位性能 |
|
| Velocidad de apertura del anillo [mm / s] |
> 2 |
| Resolución de posicionamiento de anillo abierto [nm] |
< 1 |
| Circuito cerradoResolución de posicionamiento [nm] |
2 |
| Circuito cerrado重定位精度[nm]
|
± 60 |
| Selección |
|
| material |
El estándar es una base de aluminio; Asientos de acero opcionales (- st), base de titanio (- ti); Anodización de color negro uniforme (- bk) |
| Compatibilidad al vacío (hv) |
1E-6 mbar |
| 高真空兼容 (UHV) |
1E-10 mbar |
| Sin magnetismo |
Se puede personalizar según sea necesario |
* todas las especificaciones técnicas son aproximadas, y debido a la investigación y el desarrollo continuos del producto, nos reservamos el derecho de cambiar las especificaciones técnicas sin previo aviso.