Sistema de distribución de conteo de partículas líquidas del líquido de molienda

Presentación del productoSistema de distribución de conteo de partículas líquidas del líquido de molienda La clave para la fabricación de circuitos integrados comerciales depende de la planitud a través de la maquinaria química.Química (cmp) Pule la superficie de la pasta de silicio a las propiedades físicas y químicas de las partículas de pulpa abrasiva cercanas a la planitud Atómica. El tamaño de la pasta abrasiva (slurry) contiene relativamente pocas partículas superiores a 1,0 micras (como sílice, alúmina), que pueden causar microarañazos durante el tratamiento de aplanamiento de la superficie de la obleas. Por lo tanto, el recuento de partículas grandes (lpc) de partículas de pulpa abrasiva (slurry) es un factor clave en el proceso cmp.

Principio de detecciónEl líquido a medir fluye a través de la piscina de circulación, que está equipada con vidrio óptico a ambos lados, el haz de luz del láser está colimado a través del Grupo de lentes, y el haz de luz pasa por la piscina de circulación y brilla sobre la trampa óptica. Si no hay partículas en el líquido a medir, el Fotodetector no puede recibir la señal de luz. si hay partículas en el líquido, las partículas pasan por la piscina de circulación y se bloquean o dispersan con el haz láser. Las señales de oclusión y dispersión en un (o varios) ángulo se recogen y convergen en el Fotodetector a través de la lente, produciendo un pulso positivo de señal eléctrica, y la amplitud de la señal de pulso es proporcional a la intensidad de la luz. Las partículas pequeñas en el líquido se pueden contar y detectar en función de la amplitud y el número de señales. El método de resistencia óptica detecta principalmente partículas más grandes de más de 2 micras, y el método de dispersión de la luz detecta principalmente partículas de menos de 2 micras. La ingeniosa detección de fusión de los dos modos hace que el rango de detección de las partículas sea más amplio y preciso, lo que hace que las partículas no tengan dónde esconderse. El contador de partículas líquidas PLD - FX - 801 se basa en el principio de detección de modo doble del método de dispersión de la luz y el método de resistencia a la luz, utilizando el sensor de detección de partículas ópticas estrechas láser doble de octava generación de la tecnología central de plotti, el control de flujo de doble precisión y el Sistema de dilución automática fuera de línea, que se puede utilizar para evaluar las partículas malas en el líquido molido y la concentración de estas partículas. El contador de partículas líquidas PLD - FX - 801 puede ayudarnos efectivamente a confirmar la fuente de contaminación por partículas en el sistema, evaluar la efectividad de la filtración y reducir el riesgo de seleccionar algunas partículas malas.

Aplicaciones típicas Aplicar a En la salida final del equipo suministrado, se detectan las grandes partes que causan Scratch & defens en slurry, evitando así la ocurrencia de accidentes; Se aplica a la detección para distinguir la prueba Slurry good / bad, la prueba good / bad, y el análisis en el lado de la oferta para prevenir accidentes; Se aplica al monitoreo y análisis de partículas en agua pura en la industria de semiconductores electrónicos; Se aplica al monitoreo y análisis de partículas en productos químicos electrónicos en la industria de semiconductores electrónicos; Se aplica al monitoreo de la eficiencia de filtración y la integridad de la membrana en la industria de filtración; Se aplica a la purificación de agua de las plantas de purificación de agua, el agua reciclada de las acerías, el agua del grifo, etc.

Características de rendimiento El principio de detección del modo doble hace que las partículas no tengan dónde esconderse;Tamaño estándar de partícula de 0,5 - 100 micras, rango de monitoreo de partículas súper amplio; Control preciso del flujo para que los datos de monitoreo sean más constantes y estables; En el sistema de dilución automática fuera de línea, adecuado para partículas de concentración súper alta; La alta velocidad de flujo garantiza un tiempo de limpieza rápido y la limpieza del sistema; La tasa de falla del diseño integrado del instrumento garantiza bajos costos de mantenimiento; Calibración de la bola de látex, que se remonta al estándar nist; Observar el tamaño de las partículas, el número y el análisis de tendencias en el tamaño de las partículas en el tamaño de las partículas molidas en tiempo real; Establecer con flexibilidad la alarma de límite y responder rápidamente a los cambios dinámicos; Opcional con métodos de comunicación flexibles para lograr una gestión moderna de la fábrica;

Parámetros técnicos

Sensores: detector de luz estrecho láser doble de octava generación (más preciso, más estable, más rápido)

∝ principio de prueba: modo dual de resistencia a la luz y dispersión de la luz

∝ muestras de prueba: agua y disolventes orgánicos

∝ rango de detección: 0,5 - 100 μm

∝ número de canales: 1000 canales se pueden configurar arbitrariamente en 16

¿ tiempo de detección: 5s a personalizado

¿ precisión del tamaño de las partículas: ≥ 90%

∝ precisión de conteo: + 3%

∝ precisión de muestreo: + 1%

∝ velocidad de flujo de muestreo: 5 ml / MIN a 150 ml / min

¿ método de determinación: online / offline, diluido / directo

¿ método de alarma: Alarma acústica y óptica, alarma de fuga de líquido, alarma de restricción de partículas

¿ sistema de control: sistema operativo Windows

¿ método de comunicación: tcpip estándar; Selección: RS232 / rs485 / 4 - 20ma

Configuración del pedido

Configuración estándar:

Un conjunto de máquinas de detección;

Instalar y depurar un conjunto de paquetes de consumibles;

Un conjunto de documentos en papel de fábrica.

Módulo de ajuste de presión de entrada.

Casos de aplicación

Cuando se determina en línea o fuera de línea, se puede Los datos LPC provocados por los cambios en los eventos de los dispositivos de suministro, como el cambio de filtro del dispositivo de suministro de MATCH o charge, pueden monitorear eficazmente la grade de slurry.