Horno limpio de grado 100

Horno limpio de grado 100BXDH-180F

Se utiliza para hornear el pretratamiento antes de la aplicación de silicio, arsénico de galio, Niobato de litio, vidrio y otros materiales en la fabricación de semiconductores, hornear la película dura después de la aplicación de pegamento y hornear a alta temperatura después del desarrollo; También es adecuado para pantallas LCD electrónicas, LCD、CMOS、IS、 Departamentos de producción e investigación científica, como medicamentos y laboratorios; También se puede utilizar en otras pruebas de alta temperatura, como secado, tratamiento térmico y envejecimiento de artículos no volátiles y no inflamables y explosivos.

Horno limpio de grado 100BXDH-180F

I. principales indicadores técnicos

1.1, rango de temperatura: Temperatura ambiente +30℃～200 ° c; Tasa de calentamiento: 3 - 6 ° C / min

1.2. fluctuación de la temperatura: + 0,5 ° c;

1.3. uniformidad de la temperatura: 100 ° C ± 2 ° c, 200 ° C ± 4 ° c, 250 ° C ± 5 ° c,（Sin cargaTemperatura constanteDetección después de 20 minutos);

1.4. tamaño del estudio (cavidad única):600 (ancho) *500 (profundo) *600 (alto)mm (mm)V;

1.5. adopciónJapónControlador de temperatura "fuji", controladorLCDMostrar y configurar,Cálculo automático de la eip, configuración de película delgada, precisión ± 0,3% fs;

1.6,Limpieza..clase):100

1.7. potencia: 12.0KW

1.8. fuente de alimentación: 380v / 50hz

En segundo lugar, Modo de control del flujo de aire:

2.1. ventilación de circulación forzada, el sistema de control controla la salida del calentador de acuerdo con el punto de temperatura establecido a través de los resultados de la salida de cálculo automático de la eip, y finalmente logra el equilibrio.

2.2. dispositivo de circulación de aire: Sala de aire acondicionado incorporada, conducto de aire circulante y motor de ventilación;

2.3. método de calefacción: se utiliza un calentador eléctrico cubierto importado (sheathed heater) sin polvo y sin oxidación.

2.4. requisitos del tabique: cada cavidad está equipada con dos tabiques, hechos de agujeros de perforación de placas de acero inoxidable, y los cuatro lados del tabique están en estrecho contacto con la Caja.

3. estructura de la Caja

3.1. material de la pared exterior de la caja: la caja exterior adopta láminas laminadas en frío de alta calidad para rociar plástico，Resistente a la corrosión, hermoso y generosoV;

3.2. materiales de la pared interior de la caja: adoptadosde alta calidadLa placa de acero inoxidable se solda por arco de argón durante todo el ciclo y se limpia con soda alcalina para evitar eficazmente la generación de polvo en la propia máquina;

3.3. materiales de aislamiento térmico: utilizadosUltrafino y ultrablancoFibra de vidrio12Aislamiento térmico de alta densidad de grado 0KalgodónRelleno, efectivotierraSe evita el desperdicio de energía térmica.

3.4. la Caja es una estructura combinada integral, con un Gabinete de control eléctrico en la parte superior, un sistema de control eléctrico en el interior y una cavidad en la parte inferior. La temperatura en la periferia del Gabinete de control eléctrico es ≤ 50 grados, lo que puede evitar quemaduras en las personas.

3.5. está equipado con una interfaz de nitrógeno que puede expulsar el aire de la Caja y garantizar que las pastillas de silicio horneadas se realicen en nitrógeno; (el medidor de flujo de nitrógeno debe instalarse en la parte delantera de la caja, la entrada de aire debe instalarse en la parte trasera de la Caja e instalarse una entrada de aire de 8 mm de diámetro. (...)

3.6,La caja contieneFiltrado eficienteAparato, filtrado efectivoEl 99,99% de las partículas de más de 0,3 um logran un mejor efecto de limpieza.

4. sistema de medición y control:

4.1. panel de control: la identificación funcional en el panel está completa, el funcionamiento del equipo se controla con "arranque" y "parada", respectivamente, y las instrucciones de varios Estados están completas, con instrucciones de funcionamiento constante, instrucciones de funcionamiento del programa, instrucciones de calentamiento, instrucciones de fin de tiempo y instrucciones de sobrecalentamiento.

4.2. requisitos del controlador: se adoptaFujiControlador de temperaturaDe acuerdo con los requisitos del proceso, se puede establecer una temperatura constante para funcionar, y se puede editar un programa de múltiples secciones.

4.3. modo de funcionamiento: funcionamiento del programa, funcionamiento constante(se ejecuta el programa predeterminado en el dispositivo)V;

Funcionamiento constante: el equipo está equipado con una cerradura electromagnética, y la acción de la cerradura electromagnética durante el funcionamiento del equipo cierra la puertaV; La puerta de la Caja no se puede abrir hasta que termine el procedimiento.

4.4. adoptar un dispositivo independiente de protección contra la sobretemperatura para garantizar que la temperatura no supere el límite; Cuando el dispositivo de protección actúa, se corta automáticamente la fuente de alimentación de calefacción y se realiza una alarma acústica y visual, y el controlador de protección de sobretemperatura adoptaledControlador de pantalla

4.5. protección contra la sobretemperatura y interruptor de emergencia del Gabinete de control eléctrico.

4.6. método de enfriamiento:Enfriamiento natural.

V. equipo Medidas de protección de la seguridad:

5.1. puesta a Tierra segura y confiable;

5.2. protección contra la sobretemperatura del estudio;

5.3. protección contra cortocircuitos en calentadores;

Vi,Transporte e instalación in situ de equipos

6.1. equipo de instalación: carretilla elevadora hidráulica o grúa 1.

6.2. descarga / colocación del equipo: después de que el equipo llegue al sitio del cliente, el cliente inspeccionará si el equipo está dañado. si no hay daño, el cliente será responsable de la descarga del equipo al lugar designado por el cliente.

6.3. preparación antes de la instalación: antes de la instalación del equipo, el cliente debe hacer los preparativos pertinentes con antelación. para los parámetros específicos, consulte (condiciones normales de funcionamiento del equipo)

6.4. construcción en el sitio: responsabilidad del cliente: el equipo en el sitio de uso del equipo está en su lugar, incluyendo la descarga del equipo, el cableado de los cables eléctricos fuera del equipo al interruptor general del equipo, el sistema de extracción de aire de la planta (incluida la cubierta de aire, etc.).

Siete, Normas de ejecución del producto:JB/T5520-91Condiciones técnicas de la Caja de secado

8, Equipado con información técnica: Datos técnicos: certificado de producto, instrucciones de uso, instrucciones de uso del instrumento, etc.