Máquina de medición integral de obleas totalmente automática

I,Máquina de medición integral de obleas totalmente automáticaIntroducción:

Se puede utilizar ampliamente en la fabricación de sustratos, fabricación de obleas, detección de procesos de encapsulamiento, pantallas de vidrio electrónicas 3C y sus accesorios de precisión, procesamiento óptico, paneles de visualización, Dispositivos microelectrónicos y otras industrias de procesamiento de ultraprecisión. Se pueden medir todo tipo de superficies de objetos, desde lisas a ásperas, de baja reflectividad a alta reflectividad, desde el grosor, la rugosidad, la planitud, el contorno geométrico microscópico, la curvatura, etc., proporcionando más de 300 parámetros 2D y 3D como criterios de evaluación de acuerdo con las cuatro principales normas nacionales y extranjeras semi / ISO / ASME / eur / gbt.

En segundo lugar,Máquina de medición integral de obleas totalmente automáticaVentaja

1. medición integrada del espesor sin contacto y la morfología tridimensional de micro y Nano

◆ el módulo de medición de espesor integrado y el módulo de medición de morfología y rugosidad tridimensionales pueden completar el espesor con una máquina, TTV、LTV、BOW、WARP、 Medición de la rugosidad y la morfología tridimensional.

2. tecnología de medición de espesor de alta precisión

◆ escaneo eficiente de wafer con tecnología de disparo confocal espectral de alta resolución.

◆ con una ventosa de vacío recubierta de descarga estática de varios grados de libertad, el tamaño máximo de la obleas puede soportar hasta 12 pulgadas.

◆ se adopta la tecnología de seguimiento de mapping, que se puede programar para incluir la medición automática de múltiples puntos, líneas y superficies.

3. tecnología de medición de morfología tridimensional de alta precisión

◆ se utiliza la tecnología de interferencia de luz blanca óptica, el módulo de escaneo Z de precisión y el algoritmo de reconstrucción 3D de alta precisión, y la resolución Z puede alcanzar hasta 0,1 nm.

◆ el diseño único de aislamiento de vibraciones reduce en gran medida la vibración del suelo y el ruido de vibración acústica del aire, y obtiene una alta repetibilidad de la medición.

◆ la tecnología de visión artificial detecta los puntos Mark de la imagen, y las plantillas virtuales colocan las muestras, lo que puede automatizar la medición continua de la morfología multipunto.

4. Plataforma de estructura de pórtico de alta velocidad de Gran Recorrido

◆ estructura de pórtico de gran recorrido (400x400x75mm), velocidad máxima de movimiento 500mm / S.

◆ base de granito de alta precisión y viga transversal, la estructura general es estable y confiable.

◆ el mecanismo de movimiento clave adopta una guía de guía lineal de alta precisión, impulsada por un motor de accionamiento directo servomotor AC y un sistema de rejilla con una resolución de 0,1 micras para garantizar la alta precisión y eficiencia del equipo.

5. operación simple, fácil y sin preocupaciones

◆ el joystick que integra la función de ajuste de desplazamiento en tres direcciones de XYZ puede completar rápidamente los preparativos antes de la medición, como la traducción de la Plataforma de carga y el enfoque en dirección Z.

◆ tiene un diseño doble anticolisión para evitar daños causados por la colisión entre el objetivo y el objeto a medir debido a la operación incorrecta.

◆ tiene la función de cambiar la lente eléctrica, lo que hace que la observación sea rápida y sencilla.

3. abundantes proyectos de medición:

Medición de espesor, medición de rugosidad, medición de ttv, medición de tamaño de imagen, medición de deformación, medición de contorno, medición de Bow

4. parámetros técnicos: