Haz de iones enfocado y microscopía electrónica de barrido - FIB - Sem

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Descripción general

Zeiss crossbeam combina las potentes propiedades de imagen y análisis del tubo de microscopía electrónica de barrido de emisiones de campo (fe - sem) con la excelente capacidad de procesamiento de la nueva generación de haces de iones enfocados (fib). Ya sea cortando, imágenes o haciendo análisis 3d, la serie crossbeam puede mejorar enormemente su experiencia de aplicación.

Detalles del producto

Dedicado al alto rendimiento3DAnálisis y preparación de muestras a medidaFIB-SEMZeiss crossbeam combina las potentes propiedades de imagen y análisis del tubo de microscopía electrónica de barrido de emisiones de campo (fe - sem) con la excelente capacidad de procesamiento de la nueva generación de haces de iones enfocados (fib). Ya sea cortando, imágenes o haciendo análisis 3d, la serie crossbeam puede mejorar enormemente su experiencia de aplicación. Con el sistema de óptica electrónica gemini, puede obtener información real de la muestra de una imagen del microscopio electrónico de barrido (sem). El cañón FIB ion - scultor introduce un nuevo método de procesamiento fib, que puede reducir el daño de la muestra y mejorar la calidad de la muestra, acelerando así el proceso experimental.

Ya sea para instituciones de investigación científica o laboratorios industriales, laboratorios de un solo usuario o plataformas experimentales de varios usuarios, si desea obtener resultados experimentales de alta calidad e influyentes, el diseño de la plataforma modular de Zeiss crossbeam le permite actualizar el sistema de instrumentos en cualquier momento de acuerdo con sus propias necesidades.

Parámetros técnicos:

	Zeiss crossbeam 350	Zeiss crossbeam 550
Microscopio electrónico de barrido (sem)	Tubo Gemini I	Tubo Gemini II
	Opción de presión variable	Opcional Tandem decel
	Haz de electrones: 5 Pa – 100 na	Haz de electrones: 10 pa – 100 na
Haz de iones enfocado (FIB)	Resolución: 3 nm @ 30 kV (método estadístico)	Resolución: 3 nm @ 30 kV (método estadístico)
Haz de iones enfocado (FIB)	Resolución: 120 nm @ 1 Kv & 10 pa (opcional)	Resolución: 120 nm @ 1 Kv & 10 pa
Detector	Inlens se, inlens esb, vpse (detector de electrones secundarios de presión variable), SESI (detector de iones secundarios de electrones secundarios), estem (detector de electrones de transmisión de escaneo), absd (detector de dispersión de espalda)	Inlens se, inlens esb, ETD (detector everhard - thornley), SESI (detector de iones secundarios de electrones), estem (detector de electrones de transmisión de escaneo), absd (detector de dispersión trasera) y CLS (detector de fluorescencia catódica)
Especificaciones y puertos del almacén de muestras	El almacén de muestras estándar está equipado con 18 interfaces configurables	El almacén de muestras estándar está equipado con 18 interfaces configurables / el almacén de muestras grande está equipado con 22 interfaces configurables
Plataforma de carga	X / Y = 100 mm	X/Y = 100 mm / X/Y = 153 mm
	Z = 50 mm, Z' = 13 mm	Z = 50 mm, Z' = 13 mm / Z = 50 mm, Z' = 20 mm
	T = - 4 ° a 70 °, R = 360 °	T = - 4 ° a 70 °, R = 360 ° / t = - 15 ° a 70 °, R = 360 °
Control de carga eléctrica	Pistola de haz de electrones	Pistola de haz de electrones
	Neutralizador de carga local	Neutralizador de carga local
	Presión variable	-
Gas	Sistema de inyección de gas de canal único: pt, c, siox, w, H2O	Sistema de inyección de gas de canal único: pt, c, siox, w, H2O
Gas	Sistemas de inyección de gas multicanal: pt, c, w, au, h2o, siox, xef2	Sistemas de inyección de gas multicanal: pt, c, w, au, h2o, siox, xef2
Resolución de almacenamiento	32 k x 24 K (con el módulo de tomografía computarizada 3D opcional Atlas 5, hasta 50 k x 40 k)	32 k x 24 K (con el módulo de tomografía computarizada 3D opcional Atlas 5, hasta 50 k x 40 k)
Anexo de análisis opcional	EDS、EBSD、WDS、SIMS， Otras opciones están disponibles si es necesario.	EDS、EBSD、WDS、SIMS， Otras opciones están disponibles si es necesario.
Ventaja	Debido al uso de un modo de presión variable y una amplia gama de experimentos in situ, la compatibilidad de la muestra se puede ampliar considerablemente.	El análisis y la imagen se completan con alto rendimiento, y la alta resolución se puede obtener en diversas condiciones.

聚焦离子束和扫描电子显微镜 – FIB-SEM

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