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Mesa de detección elíptica

modelo
Naturaleza del fabricante
Productores
Categoría de producto
Lugar de origen
Descripción general
Elipsometro espectral de matriz mueller, la Plataforma de detección de Elipsometría realiza diferentes módulos de medición de Elipsometría en línea / fuera de línea a través de la tecnología de integración de altura integral.
Detalles del producto

I. Resumen del producto

Yiguang TechnologyMesa de detección elípticaComo una pequeña máquina integrada elíptica, a través de la modularidad de la altura general y la tecnología integrada de circuitos eléctricos y de gas, se realiza una solución integral de medición elíptica en línea / fuera de línea para diferentes módulos de medición elíptica.

II. características del producto

Apoyar al laboratorio en la investigación de la tecnología general de medición de control integrado elíptico;

■ soporte para personalizar la medición de escaneo multipunto fuera de línea y exportar informes en grandes sustratos de línea de producción;

■ soporte para esquemas multielípticos, integración multicombinada

■ soporte para la personalización de módulos de sonda y mesas de muestra

III. escenarios de aplicación

Se aplica a varios materiales de película isotrópico y isotrópico en la investigación científica, el espesor de la película, las constantes ópticas y la caracterización estructural de nanorejillas unidimensionales y bidimensionales; En el campo industrial, las películas involucradas en la industria de nuevos dispositivos fotoeléctricos (película de alineación, fotorresistente, ito, película luminosa, película de encapsulamiento) se escanean y miden rápidamente fuera de línea.

Esquema de diseño de referencia

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Esquema técnico elíptico altamente integrado

Parámetros técnicos

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