Serie de sondas electrónicas

Nació "el gran epma" Equipado con el sistema óptico electrónico de emisión de campo más avanzado Maximizar el rendimiento de análisis de Shimadzu epma Desde las condiciones de Observación de Sem hasta la magnitud de 1 μa, hay sistemas ópticos electrónicos de emisión de campo de vanguardia con una resolución espacial incomparable y excelente en diversas condiciones de haz. En combinación con el espectrómetro de rayos X tradicional de alto rendimiento de shimadzu, el rendimiento analítico se maximiza. ¡Merecido "the Big epma", ¡ nació el más alto nivel de epma!

Resolución espacial incomparable y excelente

Utilizando el haz condicional de análisis, se enorgullece de la resolución de la imagen electrónica secundaria No. 1. (a una tensión de aceleración de 10 kv, 20nm@10nA / 50nm@100nA /. 150nm@1 μA）。 En comparación con los resultados de la pistola electrónica original (ceb6, filamento de tungsteno), es claro de un vistazo.

Debido a que se pueden obtener imágenes de la misma resolución que la pistola de electrones original con un haz más grande, se puede realizar un análisis de rayos X de sensibilidad súper alta. Lo que es más notable es la imagen Sem cuando el haz es de 1 μa. Solo epma - 8050g puede obtener un haz de más de 1 μA y se puede comprimir a tan fino.

Comparación de las características de los haces de electrones producidos por varias pistolas de electrones (tensión de aceleración de 10 kv)

Análisis de sensibilidad súper alta del haz grande

El SEM y el epma del tipo de emisión de campo pueden lograr grandes haces que otros instrumentos no pueden alcanzar (un máximo de 3 μA a una tensión de aceleración de 30 kv). Se ha logrado un salto cualitativo en la sensibilidad de detección de los ultraoligoelementos, haciendo realidad la visualización de la distribución de los componentes de los ultraoligoelementos en el análisis de la superficie de los elementos. Además, no es necesario reemplazar la apertura de la lente objetivo en todos los rangos de haz, y no hay necesidad de preocuparse por cerrar el eje en absoluto, logrando un análisis altamente automatizado.

Las tres imágenes de la superficie son los resultados del análisis de la superficie de alrededor del 1% de si en acero inoxidable bajo diferentes haces. Cuanto mayor sea el haz, menor será la desviación y más clara será la confirmación del rango que contiene Si.

※ condiciones de análisis: tensión de aceleración de 10 kv, tiempo de integración de 50 msec. El análisis tarda aproximadamente una hora.

Se puede llevar hasta un espectrómetro de rayos X de 4 pulgadas de alto rendimiento de 5 canales al mismo tiempo.

El ángulo de extracción de rayos X determina el rendimiento del análisis, 52,5 ° es mejor

Cuanto menor sea la absorción de los rayos x, mayor será la sensibilidad.	El ángulo de extracción de rayos X altos puede reducir el impacto de la absorción y puede analizar cuerpos extraños en el Fondo del agujero profundo y en el agujero.

Un ejemplo de análisis de cuerpos extraños en agujeros profundos. La parte inferior izquierda es la distribución de hierro (fe) y la parte inferior derecha es la distribución de titanio (ti). A través del Alto ángulo de extracción de epma - 8050g, incluso las muestras con superficies obviamente cóncavas y convexa diferentes pueden ser analizadas con alta precisión.

Los cristales espectrales utilizan cristales de enfoque completo tipo johnson.

El proceso de procesamiento y preparación de cristales que se adhiere a la experiencia de investigación y desarrollo de Shimadzu garantiza el suministro de cristales espectrales de alta sensibilidad y alta resolución. El cristal de separación de luz de tipo Johnson es un cristal de enfoque completo sin distorsión.

Se puede llevar un espectrómetro de 4 pulgadas de alta sensibilidad y alta resolución de hasta 5 canales al mismo tiempo.

El diámetro del círculo Roland del espectrómetro de rayos X es uno de los factores importantes que afectan el rendimiento del análisis epma. Por cada centímetro de aumento en el radio del círculo de roland, la sensibilidad de detección disminuye en más del 30%. Shimadzu epma puede ser el máximo

Todas las operaciones de análisis son simples y fáciles de entender.

Muchas funciones nuevas, como la operatividad avanzada que se puede lograr con solo un ratón, la interfaz de usuario humanizada que persigue la "facilidad de comprensión" y el modo de navegación, hacen realidad la "operación fácil de entender". Tanto los principiantes como los usuarios expertos pueden realizar análisis operativos útiles.

● desde la importación de muestras hasta la generación de informes de análisis, la operación es conveniente.
● incluso el primer uso puede realizar fácilmente la observación Sem del posicionamiento de la muestra.
● La controlabilidad incomparable mejora en gran medida la eficiencia de la preparación del análisis.
● interfaz de usuario humanizada que busca visualmente "fácil de entender".
● llevar el modo de navegación y guiar automáticamente hasta que se genere el informe de análisis.