Diseño del taller de limpieza biológica

El diseño del taller de limpieza biológica se llama comúnmente taller libre de polvo, taller de purificación, sala limpia y otros nombres; Se refiere a la eliminación de partículas, aire dañino, bacterias y otros contaminantes en el aire dentro de un cierto rango de espacio, y el control de la temperatura interior, la limpieza, la presión interior, la velocidad del flujo de aire y la distribución del flujo de aire, la vibración acústica y la iluminación, la electricidad estática en un determinado rango de demanda, y La habitación especialmente diseñada.

Diseño del taller de limpieza biológicaComúnmente conocido como taller libre de polvo, taller de purificación, sala limpia y otros nombres; Se refiere a la eliminación de partículas, aire dañino, bacterias y otros contaminantes en el aire dentro de un cierto rango de espacio, y el control de la temperatura interior, la limpieza, la presión interior, la velocidad del flujo de aire y la distribución del flujo de aire, la vibración acústica y la iluminación, la electricidad estática en un determinado rango de demanda, y La habitación especialmente diseñada.

Diseño del taller de limpieza biológicaControl de temperatura y humedad en

La temperatura y la humedad del espacio limpio se determinan principalmente de acuerdo con los requisitos del proceso, pero cuando se cumplen los requisitos del proceso, se debe tener en cuenta la comodidad humana. Con el aumento de los requisitos de limpieza del aire, hay una tendencia a que los requisitos de temperatura y humedad del proceso sean cada vez más estrictos. Los requisitos de temperatura del proceso específico se enumerarán más tarde, pero como principio general, debido a que la precisión del procesamiento es cada vez más fina, los requisitos para el rango de fluctuación de temperatura son cada vez más pequeños. Por ejemplo, en el proceso de exposición litográfica de la producción de circuitos integrados a gran escala, la diferencia entre el coeficiente de expansión térmica del vidrio y la silicio como material de máscara es cada vez menor. Las pastillas de silicio de 100 um de diámetro, con un aumento de la temperatura de 1 grado, causan una expansión lineal de 0,24 um, por lo que deben tener una temperatura constante de ± 0,1 grados, al tiempo que requieren valores de humedad generalmente bajos, porque después de que las personas sudan, habrá contaminación del producto, especialmente en los talleres de semiconductores temerosos del sodio, que no deben exceder los 25 grados, y la humedad excesiva genera más problemas. Cuando la humedad relativa supera el 55%, se condensa en la pared de la tubería de agua de enfriamiento y, si se produce en un dispositivo o circuito de precisión, puede causar varios accidentes. La humedad relativa es fácil de oxidar al 50%. Además, cuando la humedad es demasiado alta, el polvo adherido a la superficie de la silicio se adsorbe químicamente en la superficie a través de moléculas de agua en el aire, lo que dificulta su eliminación. Cuanto mayor sea la humedad relativa, más difícil será eliminar la adherencia, pero cuando la humedad relativa es inferior al 30%, debido a la acción de la electricidad estática, las partículas también son fáciles de absorber en la superficie, mientras que un gran número de dispositivos semiconductores son propensos a la ruptura. El rango óptimo de humedad para la producción de pastillas de silicio es del 3545%.

Regulación de la presión atmosférica

Para la mayoría de los espacios limpios, para evitar la intrusión de contaminación externa, es necesario mantener la presión interna (presión estática) por encima de la presión externa (presión estática). El mantenimiento de la diferencia de presión debe ajustarse en general a los siguientes principios:

1. la presión en el espacio limpio debe ser mayor que la presión en el espacio no limpio.

2. la presión en los espacios con niveles de limpieza altos es mayor que en los espacios con niveles de limpieza bajos adyacentes.

El mantenimiento de la diferencia de presión depende del volumen de aire fresco, que debe compensar el volumen de aire que se escapa de la brecha bajo esta diferencia de presión. Por lo tanto, el significado físico de la diferencia de presión es la resistencia cuando el volumen de aire de fuga (o penetración) pasa por varias grietas en la Sala limpia.

Regulación de la velocidad del flujo de aire en la Sala limpia

La velocidad de flujo de aire a discutir aquí se refiere a la velocidad de flujo de aire en interiores limpios, y la velocidad de flujo de aire en otros espacios limpios se explicará al discutir equipos específicos.

Para las salas limpias de flujo turbulento, debido a que dependen principalmente de la dilución del aire para reducir el grado de contaminación interior, se utiliza principalmente el concepto de número de cambios de aire, en lugar del concepto de velocidad directa, pero también hay los siguientes requisitos para la velocidad del flujo de aire interior;

(1) la velocidad del flujo de aire en la salida de la salida de aire de alimentación no debe ser demasiado grande, en comparación con las habitaciones con aire acondicionado simple, se requiere una atenuación más rápida y un mayor ángulo de difusión.

(2) la velocidad del flujo de aire que sopla a través de la superficie horizontal (por ejemplo, la velocidad de retorno durante la entrega lateral) no debe ser demasiado grande para evitar soplar partículas superficiales para volver al flujo de aire y causar contaminación, que generalmente no debe secarse 0,2 m / S.

Para las salas limpias de flujo paralelo, que habitualmente se llaman salas limpias de flujo laminar, la velocidad en la sección transversal es un indicador muy importante porque se excluye el teñido debido principalmente a la "extrusión del pistón" del flujo de aire. en el pasado, se utilizaba el estándar estadounidense 20gb con 0,45 M / S. pero también se entendía que la cantidad de ventilación necesaria para una velocidad tan alta era enorme, y para ahorrar energía, también se estaba explorando la viabilidad de reducir la velocidad del viento.

En nuestro país, las "medidas técnicas limpias de aire" y (especificaciones de diseño de plantas limpias) estipulan así.

Flujo paralelo vertical (flujo laminar) sala limpia ≥ 0,25 M / s

Flujo paralelo horizontal (flujo laminar) sala limpia ≥ 0,35 M / s

Control del ruido

Las normas de ruido de las salas limpias son generalmente más estrictas que las normas de protección de la salud, con el objetivo de garantizar el funcionamiento normal y satisfacer los contactos de conversación necesarios y un entorno de trabajo seguro y cómodo. Por lo tanto, los principales indicadores para medir el ruido de las salas limpias son:

1. el efecto de los problemas

Debido al ruido, los problemas causados por la inquietud de las personas se dividen generalmente en siete niveles de problemas: extremadamente tranquilo, muy tranquilo, más tranquilo, un poco ruidoso, más ruidoso y extremadamente ruidoso. Aquellos cuyo nivel de respuesta es muy ruidoso y extremadamente ruidoso son problemas altos, y el porcentaje de personas con problemas altos en el número total de personas es una alta tasa de problemas.

2. impacto en la eficiencia laboral

Esto depende principalmente del nivel de respuesta en tres aspectos: concentración, precisión de los movimientos, velocidad de trabajo

3. interferencia en las comunicaciones integradas

Esto se divide principalmente en: claridad o satisfacción, un poco difícil, difícil, imposible

Los tres indicadores anteriores se evalúan con el nivel de sonido A. En la década de 1950, se propuso utilizar una curva espectral como criterio de evaluación, es decir, el nivel de presión acústica de la frecuencia central de cada banda de frecuencia no debe exceder esta curva. Más tarde, se supo que cepillar el nivel a para medir la interferencia del habla y el grado de molestia entre el ruido y el ruido es más adecuado, y puede reemplazar el nivel de presión acústica de la banda de duplicación de frecuencia como indicador del estándar de evaluación.

Hay grandes requisitos. Aquí es necesario explicar primero la forma de iluminación de la Sala limpia sin ventanas:

(1) iluminación general

Se refiere a la iluminación establecida para iluminar toda la superficie iluminada sin tener en cuenta las necesidades locales especiales.

(2) iluminación local

Esto se refiere a la iluminación establecida para aumentar la iluminación de un lugar, como un punto de trabajo. Sin embargo, la iluminación interior consiste en no utilizar generalmente la iluminación local por separado.

(3) iluminación mixta

Se refiere a la iluminación combinada de iluminación general e iluminación local en la superficie de trabajo, en la que la iluminación general debe representar el 10% y el 15% de la iluminación total de acuerdo con el Código de diseño de plantas limpias, pero no menos de 150 LX secos. el flujo de luz aceptado por unidad de área iluminada es la unidad de iluminación Lux (lx).

Los requisitos de intensidad de las habitaciones limpias en el extranjero son altos, por ejemplo, los requisitos de varios estándares estadounidenses sobre habitaciones limpias son:La luz artificial 300lx tiene mejores resultados, y cuando la pieza de trabajo es más fina, 500x también está permitido. Para los lugares donde se quiere iluminar con luz roja, como los talleres de litografía de la industria electrónica, su iluminación es generalmente (25501x),Se puede permitir una mayor iluminación cuando se utiliza luz natural, lo que es beneficioso para el trabajo, por lo que puede ser prometedor que la iluminación de las salas limpias utilice tanto luz artificial como luz natural en el futuro, que también es una tendencia para ahorrar energía.

antiestático

Los accidentes causados es es por la electricidad estática en la Sala limpia ocurren con frecuencia, por lo que la capacidad antiestática de la Sala limpia se ha convertido en un aspecto no desdeñable de la evaluación de su calidad.

La llamada electricidad estática se llama electricidad estática porque destruye el Estado de neutralidad eléctrica uniforme de la misma cantidad de carga positiva (+) negativa (-) en el objeto debido a la fricción y otras razones, lo que hace que la carga sea excesiva y el objeto esté cargado. debido a que estas cargas generalmente no fluyen, se llama electricidad estática.

Los accidentes causados por la electricidad estática en interiores limpios son los siguientes:

1. las descargas eléctricas estáticas causadas por la electricidad estática causan inseguridad y miedo en las personas y pueden causar lesiones secundarias (por ejemplo, las personas caen debido a las descargas eléctricas y las lesiones causadas por caídas);

2. la corriente de descarga causada por la descarga estática puede causar daños y acciones erróneas como los componentes semiconductores, como la colocación de 50 circuitos P - mos en bolsas de plástico. después de sacudirse varias veces, 39 se rompen gravemente con la puerta y la puerta, con una tasa de falla del 78%, debido a que los dispositivos semiconductores son muy sensibles a la descarga estática;

3. las ondas electromagnéticas generadas por la descarga estática pueden causar ruido y acción incorrecta de instrumentos y dispositivos electrónicos;

4. la luminiscencia de la descarga estática puede causar daños sensibles a la luz, como las extremidades fotográficas;

5. los fenómenos mecánicos de la electricidad estática pueden causar que los agujeros de tamiz estén bloqueados por polvo, los hilos de hilado sean caóticos, la profundidad de los materiales impresos sea desigual y los productos estén contaminados.

La generación de accidentes electrostáticos se debe principalmente a la generación y acumulación de electricidad estática, mientras que el flujo de aire, la fricción entre el flujo de aire y tuberías, salidas de aire, filtros, etc., la fricción entre el cuerpo humano y la ropa, la fricción entre la ropa, la molienda en el proceso, las operaciones de pulverización, chorro, lavado, agitación, Unión y desprendimiento, todas las opciones pueden producir electricidad estática, en general, cuanto menor sea la conductividad eléctrica de los no conductores (aislantes), más fácil será cargar después de la generación de la carga eléctrica.

El problema de la electricidad estática es particularmente grave en las salas limpias porque no solo hay una variedad de factores de proceso para producir electricidad estática mencionados anteriormente en las Salas limpias, sino también porque muchos materiales en las Salas limpias, como suelo de plástico, paredes, nylon, ropa de trabajo sólida y otras prendas de trabajo, tienen una alta resistencia eléctrica, son muy propensos a producir electricidad estática y aglomeración de electricidad estática. antes de que se prestara atención a los desastres de electricidad estática en las Salas limpias, estos materiales eran ampliamente utilizados.