Termómetro de mesa aixtron ex - C - 7fl

NegociableActualización en05/07

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Descripción general

El termómetro de mesa aixtron ex - C - 7fl es un termómetro de tubo de luz zafiro de alta precisión producido por BASF y se utiliza como sistema de medición de temperatura en la parte inferior de la Mesa aixtron g3, G4 y G5 MOCVD (botcom temporal monitor).

Detalles del producto

Características principales

Medición a baja temperatura con ondas cortas	Alta precisión, resolución de 0,01 ° C y precisión de medición de temperatura de 1,5 ° C
Repetibilidad de la medición de la temperatura 0,1ºc, deriva de la temperatura no superior a 0,1ºc / año	La velocidad de medición alcanza los 1.000 valores por segundo
Salida digital / analógico, fácil de integrar en el sistema de control

Detalles

Termómetro de mesa aixtron ex - C - 7flEs un pirómetro de tubo óptico de zafiro de alta precisión producido por BASF y se utiliza como sistema de medición de temperatura en la parte inferior de la máquina aixtron g3, G4 y G5 MOCVD (botcom temporal monitor).

Termómetro de mesa aixtron ex - C - 7flIncluye sensores ei110, fibra óptica, tubo de luz zafiro, módulo digital ifd5, módulo analógico ifa5, cables de apoyo, etc. el rango de medición de temperatura cubre 100 - 1800 grados celsius, la precisión es tan alta como 1,5 grados celsius, y la repetibilidad es de 0,1 grados celsius.

BASF Exactus ® Termómetros de serieSe ha utilizado ampliamente en procesos de semiconductores como recocido rápido, oxidación rápida y depósito de película delgada, y se ha integrado en varios equipos MOCVD y otros equipos RTP como: aixtron, lpe, premtek, etc. Además, debido a su alta precisión y estabilidad de medición de temperatura, también es utilizado como estándar de temperatura por algunos fabricantes de hornos de cuerpo negro de alta temperatura, como thermogague.

Aplicaciones típicas

RTP control de temperatura	Control de temperatura MOCVD
Control de temperatura Mbe	Estándar de temperatura

Parámetros técnicos

Parámetros de medición
Rango de temperatura:	100 – 1800℃
Longitud de onda de trabajo:	1550 nm
Precisión de medición:	Mejor que la medición de 1,5 ° c o 0,15%
Resolución:	最高0.01℃
Precisión repetida:	0.1℃
Deriva de la temperatura:	Máximo 0,10 ° C / año Ambiente: 0,05 ℃ / ℃ @ 20 - 45 ℃, 0,10 ℃ / ℃ @ otras temperaturas
Lente:	Tubo de luz de zafiro

Parámetros físicos
Suministro de energía:	12-28 VDC, 3W
Temperatura de almacenamiento:	-20 a 70 ℃
Temperatura ambiente:	Dispositivos electrónicos: 0 - 60 ° C Lente especial en ambiente hostil: 0 - 250 ℃. Fibra óptica de alta temperatura: 0 - 250 ℃.
Material de la carcasa:	Carcasa del sensor y la lente, 304 acero inoxidable / aluminio; Carcasa soplada por aire, aluminio; Lente especial para ambientes hostiles: 304 acero inoxidable;
Peso:	Termómetro estándar, 0510 kg (1125 lbs.) Sensor de fibra óptica, 0198 kg (7 oz.)

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