Máquina de limpieza de ranura totalmente automática de 6 / 8 pulgadas

1. Resumen del producto:

Serie gamaMáquina de limpieza de ranura totalmente automática de 6 / 8 pulgadasSatisfacer todas las necesidades del proceso húmedo, cubriendo aplicaciones como rca, PR strip, solvent, Wet etc., se puede utilizar en nodos de proceso típicos de 0,35 um y 0,18 um, puede soportar nodos de proceso de 90 nm y es compatible con obleas de 6 y 8 pulgadas..

2. equipoaplicación:

Tamaño de la obleas

6,8 pulgadas

Materiales aplicables

Silicio, carburo de silicio, nitruro de galio a base de silicio

Proceso aplicable

Limpieza previa, limpieza sin pegamento, eliminación de nitruro de silicio, eliminación de metales(co, ti), limpieza de ciclo, limpieza después del pulido, limpieza antes de epi, limpieza después de Epi

Áreas de aplicación

Circuitos integrados, materiales de sustrato, semiconductores compuestos, semiconductores de potencia

3. Ventajas características:

North huachuang Rendimiento de la máquina de limpieza de la serie gama en términos de uniformidad de corrosiónobvio. la uniformidad de la corrosión es de importancia clave para garantizar la consistencia y estabilidad de la fabricación de chips.
Esta lavadora garantiza un efecto de corrosión altamente uniforme en toda la superficie del chip a través de un sistema de flujo de fluidos cuidadosamente diseñado, un mecanismo de distribución de soluciones químicas y una estrategia de control de temperatura. Tanto en una gran área de obleas como en una compleja región de estructura gráfica, se puede mantener la consistencia del grado de corrosión.
Es posible que se utilicen técnicas como la pulverización uniforme de múltiples aspersores y la limpieza rotativa para que la solución química pueda cubrir uniformemente la superficie de la pasta y evitar la corrosión local excesiva o insuficiente. Al mismo tiempo, un sistema preciso de control de temperatura puede garantizar la uniformidad de la temperatura durante todo el proceso de limpieza, ya que las diferencias de temperatura pueden afectar la velocidad y uniformidad de la reacción de corrosión. En aplicaciones prácticas, incluso frente a chips de diferentes materiales y grosores, la máquina de limpieza puede proporcionar una excelente uniformidad de corrosión, mejorando así efectivamente la calidad y el rendimiento del chip.

4. características del equipo

Diseño estructural compacto y pequeña superficie

Diseño modular, configuración flexible y escalable

Diseño maduro de la ranura de proceso para garantizar la estabilidad del proceso

Sistema de pesaje químico preciso para lograr procesos de alta calidad