Equipo de limpieza de ranura de 12 pulgadas

1. Resumen del producto:

Equipo de limpieza de ranura de 12 pulgadasLa plataforma Pinnacle 300 es adecuada para procesos de limpieza en circuitos integrados, semiconductores de potencia, materiales de sustrato y campos de microvisualización a base de silicio. La máquina está compuesta principalmente por un módulo de transmisión, un módulo de proceso, un sistema de suministro de líquido medicinal y un Gabinete de energía. El módulo de transmisión transmite la obleas a la posición y puede transmitir 50 piezas al mismo tiempo. el módulo de proceso se utiliza para limpiar y grabar, y el módulo de suministro de líquido medicinal se utiliza para la proporción de líquido medicinal de alta precisión, calefacción, suministro y monitoreo de concentración.

2. equipoaplicación:

Tamaño de la obleas

12 pulgadas

Materiales aplicables

Fotorresistencia, silicio monocristalino, polisilicio, óxido de silicio, nitruro de silicio, película metálica, óxido metálico

Proceso aplicable

Frente al horno, grabado/ limpieza después del pulido, fotoresistencia, óxido metálico, eliminación de nitruro, recuperación de la placa de control

Áreas de aplicación

Circuitos integrados, semiconductores de potencia, materiales de sustrato, micropantalla a base de silicio

3. Parámetros característicos:

Número de tanques de limpieza: generalmente hay varios tanques de limpieza para lograr diferentes pasos del proceso de limpieza, como puede haber varios tanques de limpieza química, tanques de lavado de agua pura, etc.

Equipo de limpieza de ranura de 12 pulgadasMétodos de limpieza: puede soportar una variedad de métodos de limpieza, como la limpieza química, la limpieza megaacústica, etc., para eliminar eficazmente varios contaminantes en la superficie de la obleas.

Control de temperatura: tiene una capacidad precisa de control de temperatura, que puede ajustar la temperatura del líquido de limpieza o el proceso dentro de un cierto rango de temperatura para satisfacer las necesidades de diferentes procesos de limpieza.

Tiempo de proceso: puede establecer y controlar con precisión el tiempo de cada paso de limpieza para garantizar la consistencia del efecto de limpieza.

Tamaño de la obleas: adecuado para La limpieza de obleas de 12 pulgadas puede cumplir bien con los requisitos de limpieza de obleas de gran tamaño.

Grado de automatización: tiene un alto nivel de automatización, que puede realizar el control automático de los procesos de transmisión automática, posicionamiento y limpieza de obleas, mejorar la eficiencia de la producción y reducir los errores de operación humana.

4. Características del equipo

Se puede equipar con un tanque de proceso de líquido medicinal múltiple para apoyarFunciones auxiliares como dio

El software está adaptado y tiene la capacidad de actualizar rápidamente.

Mayor estabilidad del control de temperatura

Precisión de hidratación súper alta

Control preciso de la velocidad de grabado

Excelente efecto de secado