Perfilador de medición tridimensional

Perfilador de medición tridimensional

Perfilador de medición tridimensional

La medición microscópica de la superficie tridimensional y la evaluación de la rugosidad son ampliamente utilizadas en mecanizado de precisión, mecanizado de semiconductores, análisis de materiales y otros campos.

ventaja

↓Resolución longitudinal a nivel subnanométrico, adecuada para la medición y análisis de superficies lisas

↓Simple, preciso, rápido y repetible

↓Los ricos modos de medición admiten diferentes2D / 3DNecesidades de medición

función

↓Medición sin contacto de la rugosidad tridimensional de la superficie

↓Medición de la microestructura tridimensional de la superficie

↓Medición y análisis del espesor de la película

↓Medición del espectro de microreflexión(Elegir(...)

Objeto aplicable

Componentes ópticos de precisión, dispositivos de micromecánica, piezas mecanizadas de metal, obleas, etc.

Principio de medición

↓Principio de medición microscópica de interferencia de luz blanca: utilizando una fuente de luz blanca, la interferencia de luz incoherente y la tecnología de imágenes microscópicas de alta resolución se unen para formar una microestructura.Contorno tridimensional, con diferentes lentes de duplicación de medición, la resolución de medición longitudinal puede alcanzar la magnitud subnanométrica

↓Medición microscópico espectral: la selección de módulos espectrales puede realizar la medición espectral de la microzona superficial y la medición del espesor de la película.

Casos medidos