Diseño de la carretera de gas de alta pureza del laboratorio de Tianjin

Diseño de la carretera de gas de alta pureza del laboratorio de Tianjin

La disposición del sistema de tuberías de gas de alta pureza es diferente de la de las tuberías de gas ordinarias. En general, se requiere que la tubería no sea demasiado larga, no tenga callejones sin salida, como una "tubería ciega" que no es fácil de soplar limpia. Los extremos de las tuberías principales o secundarias deben proporcionar los puertos de descarga y muestreo necesarios. En algunos usuarios de uso no continuo, deje que una pequeña cantidad de gas se descargue continuamente al final de la tubería, de modo que el gas en la tubería fluirá normalmente, evitando la aparición de "zonas muertas". De acuerdo con los requisitos de calidad del gas de proceso, se debe instalar un dispositivo de purificación terminal si es necesario. En general, válvulas de control, filtros, dispositivos de reducción de presión, medidores de presión, medidores de flujo, instrumentos de análisis en línea, etc. Las tuberías de gas de alta pureza que entran en el taller limpio se concentran en la Sala de población de gas, lo que facilita la gestión y el control unificados.

Tuberías de gas de alta pureza y materiales auxiliares de tuberías: las tuberías de transporte de tuberías de gas de alta pureza deben adoptar tuberías de la calidad correspondiente de acuerdo con los diferentes requisitos del proceso para la pureza del gas, el contenido de impurezas permitidas, el contenido de partículas, etc. Por ejemplo, la industria de semiconductores no solo necesita un entorno de producción limpio, sino que también tiene requisitos específicos y estrictos para los diversos gases de alta pureza necesarios en el proceso de producción debido a sus complejos procesos de producción y procesamiento fino. Desde la tecnología de micrones hasta la tecnología de micrones y submicrones profundos (menos de 0,35 um), los requisitos para el contenido de impurezas y agua en los gases son muy estrictos, y 10 - 6 (nivel ppm) no pueden cumplir con los requisitos. Es necesario alcanzar el nivel 10 - 9 (nivel ppb) o incluso el nivel 10 - 12 (nivel ppt), y el tamaño de las partículas de polvo debe controlarse en 0,05 - 0,01 micras. Por lo tanto, las características del material de tubería de la tubería de transporte deben cumplir con los requisitos de gas de alta pureza y ultra alta pureza.

Para las tuberías que transportan gas de alta pureza, las principales características de los materiales de tubería que afectan la calidad del gas son la transpirabilidad, la tasa de salida de aire, la adsorción, la rugosidad de la superficie, la resistencia al desgaste y la resistencia a la corrosión.

Requisitos de instalación de tuberías del sistema de suministro de gas

. El tendido de tuberías debe cumplir con los requisitos de diseño, y cuando el diseño no requiere, la tubería de gas seco debe instalarse horizontalmente; La tubería que transporta gas húmedo debe instalarse con una pendiente no inferior a 0003, y la pendiente debe estar orientada al coleccionista de agua condensada.

La tubería está conectada por soldadura, la soldadura por arco de argón de tungsteno está en el Fondo y la soldadura por arco manual está cubierta. La soldadura o soldadura por puntos de tubos de acero inoxidable debe tomar medidas de protección llenas de argón.

Las tuberías y equipos de gas, las válvulas y otros accesorios deben estar conectados por brida o tornillo. El relleno de las juntas roscadas debe ser película de politetrafluoroetano

Cuando la tubería de gas pasa por la Sala limpia, la parte expuesta de la Junta de brida o el relleno roscado debe limpiarse.

Cuando las tuberías de gas adopten tubos de acero sin costura esterilizados por chorro de arena o lavado ácido, deben adoptar el método de instalación centralizada, la instalación debe combinarse en secciones dentro de las 48 horas, protegidos por nitrógeno, y la presión de llenado no debe ser inferior a 0,2 mpa.

Para los gasoductos con requisitos de puesta a tierra, los Saltadores conductores deben soldarse entre las pestañas. La sección transversal del conductor y la longitud del regazo de soldadura deben cumplir con los requisitos de diseño. Los puntos de soldadura deben ser sólidos y confiables.

Diseño de la carretera de gas de alta pureza del laboratorio de Tianjin