El proceso de uso de la máquina de limpieza de plasma incluye principalmente varios pasos básicos: preparación, configuración de parámetros, operación y procesamiento final. Los detalles son los siguientes:

I. preparativos

1. inspección del equipo: asegúrese de que todos los componentes de la máquina de limpieza de plasma estén intactos, que el enchufe de alimentación se inserte correctamente y que el voltaje cumpla con los requisitos (generalmente ac220v ± 10%), que la fuente de gas esté bien suministrada y que la conexión no tenga fugas. Compruebe si las líneas de gas (como argón, oxígeno, nitrógeno) son apretadas, y las burbujas de aire se pueden detectar en la Unión de aplicación de agua jabonosa para confirmar la estanqueidad. Al mismo tiempo, es necesario garantizar que el equipo esté bien conectado a tierra y evitar el riesgo de fugas eléctricas.

2. preparación de la muestra: limpiar las grandes impurezas (como polvo y aceite) en la superficie de la muestra a limpiar y secar con etanol anhidro. Fije la muestra en el estante de la muestra, asegúrese de que la superficie esté desprotegida y uniformemente expuesta al plasma, y luego colócela en el Centro de la cavidad de reacción para evitar acercarse al electrodo. Para objetos pequeños, se puede fijar con una pinza o bandeja para evitar el Movimiento durante la limpieza.

3. confirmación del medio ambiente y los consumibles: abra el Gabinete de ventilación o el dispositivo de escape para evitar que el gas producido por la reacción de plasma contamine el medio ambiente. Compruebe la presión del cilindro de gas (generalmente debe mantenerse 0,2 - 0,5 mpa) para confirmar que la Junta de la puerta de la Cámara de reacción está limpia y no está dañada, y el ambiente experimental no debe tener fuertes vibraciones ni polvo.

II. configuración de parámetros

1. selección de modo: elija el modo de trabajo adecuado (como limpieza convencional, limpieza profunda) o el tipo de gas (como oxígeno para la eliminación de aceite, Argón para la activación de la superficie, y la limpieza compuesta puede elegir argón + mezcla de oxígeno) de acuerdo con las necesidades de limpieza.

2. ajuste de parámetros:

- potencia: selección de muestras duras de alta potencia (por ejemplo, 300w), muestras blandas o térmicas de baja potencia (por ejemplo, 50w);

- tiempo: se establece un tiempo corto para la contaminación leve (30 segundos - 2 minutos), y la contaminación severa se extiende a 10 minutos;

- vacío: generalmente mantenido en el rango de 10 - 100 pa;

- caudal de gas: generalmente se establece en 10 - 50 SCCM para evitar que el caudal excesivo destruya el vacío o que el caudal demasiado pequeño provoque una concentración insuficiente de plasma (...). Algunos modelos admiten la configuración de parámetros de sección (como el preprocesamiento de baja potencia antes de la limpieza de alta potencia).

III. puesta en marcha de la operación

1. vacío: cierre la puerta de la cavidad de reacción, active la bomba de vacío y extraiga la presión en la cavidad al valor establecido (como 20pa). Después de completarlo, el instrumento se avisará automáticamente (el indicador está encendido o sonará).

2. ventilación e ionización: introducir gas de trabajo y mantener un flujo estable, activar la fuente de alimentación de radiofrecuencia para estimular el gas a producir plasma. En este momento, habrá un brillo débil en la cavidad de reacción, que es un fenómeno normal.

3. monitoreo en tiempo real: observar parámetros como vacío, flujo de gas, potencia y tiempo restante a través de la pantalla para garantizar que no haya anomalías (como vacío inferior o fuga de gas). Algunos modelos tienen función de alarma automática y se detendrán para protegerse en caso de anomalías.

IV. clausura del tratamiento

1. apagado y descarga de presión: después de la limpieza, cierre la fuente de alimentación de radiofrecuencia y la válvula de gas, y el Instrumento entrará automáticamente en el proceso de descarga de presión (introduzca una pequeña cantidad de gas inerte para equilibrar la presión interna y externa). La puerta de la cavidad se puede abrir después de completar la descarga de presión.

2. inspección de recogida: use guantes protectores para extraer muestras y observar el Estado de la superficie (si está seca o no, sin residuos), el efecto de limpieza se puede verificar a través de la prueba del ángulo de contacto de las gotas de agua. Si es necesario procesar varias muestras continuamente, se puede repetir directamente el paso de "bombeo de vacío → limpieza" sin apagar la fuente de alimentación general.

3. limpieza y mantenimiento: limpiar la almohadilla de sellado de la puerta de la cavidad de reacción y el estante de muestras con un trapo limpio, y limpiar los residuos de polvo en la cavidad. Cierre la válvula del cilindro de gas, detenga la bomba de vacío y Corte la fuente de alimentación general para completar el cierre.

El proceso de operación de la máquina de limpieza de plasma es estandarizado e inteligente, y el núcleo radica en la preparación temprana y la adaptación de parámetros. Los usuarios deben ajustar los parámetros de manera flexible de acuerdo con el material de la muestra (duro / suave, resistente a la temperatura) y los objetivos de limpieza (desengrasado, activación, grabado), respetando estrictamente las normas de Seguridad (como usar gafas protectoras, guantes). El mantenimiento regular de los equipos (como comprobar la estanqueidad y limpiar la Cámara de reacción) puede prolongar significativamente la vida útil de la máquina y garantizar la estabilidad del efecto de limpieza.