En experimentos como la medición de la corriente de apagado del transistor, la medición de la resistencia del material de alta resistencia, las características eléctricas del nanodispositivo y el microscopio de sonda de escaneo, cuando el tamaño del dispositivo se reduce al nivel nanométrico o el material es muy delgado, la corriente de fuga y la corriente a medir en sí son extremadamente pequeñas. A este nivel, los experimentadores necesitan luchar contra todo tipo de ruidos e interferencias, incluyendo ruido térmico, ruido vibrante e incluso cargas eléctricas generadas por la ionización molecular en el aire.

Un experimento con una corriente tan pequeña requiere una corriente inferior a 100 FAA (fa, es decir, 10 ℃ - 13 ℃ amperios), y para realizar mediciones de corriente por debajo de 100 faa, el multímetro convencional es inútil. Deben utilizarse equipos y tecnologías especializados.

1. unidad de medición electrostática / fuente: este es el equipo central. Un electrómetro de alta precisión o SMU puede medir corrientes tan bajas como 0,1fa o incluso más bajas. Utilizan técnicas especiales de "tierra virtual" y resistencias de retroalimentación súper altas (por ejemplo > 10 ¿ 14? Omega).

2. cable triaxial: utilice un cable triaxial blindado de doble capa para conectar el dispositivo medido y el electroscopio. El blindaje exterior está conectado a tierra y el blindaje interior se conduce al mismo potencial que el conductor central (técnica de protección) para minimizar la corriente de fuga y la capacidad parasitaria del cable.

3. blindaje y puesta a tierra: todo el sistema de prueba (incluida la Mesa de sonda) debe colocarse en una buena jaula de Faraday (caja de blindaje metálico) para proteger la interferencia electromagnética externa.

4. control ambiental: el control de la humedad es muy importante porque el aire húmedo forma un canal conductor en la superficie aislada, introduciendo una enorme corriente de fuga. Las mediciones se suelen realizar en un ambiente seco de nitrógeno o en un vacío.

5. aislamiento de vibraciones: la vibración mecánica puede causar pequeños desplazamientos de cables y conectores, produciendo ruido eléctrico de fricción, que es una fuente significativa de ruido en la medición de alta resistencia.

Para resolver el problema del Palacio de corriente 100fa, se puede utilizar la Mesa de sonda de vacío KT - z1604t, que tiene una mesa de carga de acero inoxidable 60x60, y la Mesa se puede calentar hasta un máximo de 1 y 350 grados celsius. La cavidad de vacío está diseñada con una entrada de aire y una interfaz de vacío. El brazo de la sonda se mueve en tres ejes X / y / z, y las tres direcciones se pueden ajustar con precisión en un ambiente de vacío, de los cuales el rango de ajuste de dirección x: 0 - 30 mm; el rango de ajuste de dirección y: 0 - 20 mm; el rango de ajuste de dirección z: 0 - 20 mm; el usuario puede ajustarse por sí mismo según sea necesario. Cuando se utiliza, el dispositivo a detectar se fija en la Mesa de calentamiento, y luego se ajusta el viaje en la dirección X / y / Z del soporte de la sonda, que se observa a través del microscopio, de modo que la sonda se alinea con el punto de detección, y la detección se puede realizar.