Delineador óptico KLAEn la medición del espesor de la superpelícula de la batería de Perovskita a la fabricación de semiconductores, se ha convertido en una herramienta clave gracias a su alta precisión, medición sin contacto y versatilidad, y las aplicaciones específicas son las siguientes:
I. medición del espesor de la superpelícula en las células solares de Perovskita
Medición de la capa tco:
Importancia: la capa TCO es una parte importante de las células solares de Perovskita y debe tener una alta transmisión de luz, baja resistencia y alta estabilidad térmica cuando tiene una buena conductividad eléctrica.
Ejemplo de medición: con el perfilador óptico kla, se puede medir con precisión el espesor de las películas izo en el vidrio, como las muestras de 6,8 nm y 37,1 nm.
Medición de la capa etl:
Importancia: la capa ETL tiene un papel clave en las células solares de Perovskita para recoger electrones, transportarlos y bloquear agujeros para reducir la tasa de recombinación de agujeros electrónicos. Su planitud y deslizamiento afectan directamente la calidad de los depósitos de calcio y titanio.
Ejemplo de medición: el perfilador óptico KLA es capaz de medir el espesor de la película sno2 en el vidrio, como muestras de 10,2 nm, 14,3 nm y 19,6 nm, proporcionando un medio eficaz para monitorear el espesor y la uniformidad de la capa etl.
Medición de la capa de electrodos metálicos:
Importancia: la capa de electrodo metálico es la capa superior de las células solares de perovskita, y su control del espesor y la uniformidad del proceso es crucial para reducir costos y mejorar el rendimiento de la batería.
Ejemplo de medición: con el perfilador óptico kla, se puede medir el espesor de las películas metálicas de aluminio en el vidrio, como muestras de 15,0 nm, 28,0 nm, 49,8 nm y 71,1 nm.
2. medición del espesor de la superpelícula en la fabricación de semiconductores
Alta precisión y repetibilidad:
El perfilador óptico de kla, como el Zeta - 20, utiliza zdot ™ Tecnología, a través del método de enfoque común de matriz de puntos para lograr la morfología 3D + escaneo de color real, la resolución del eje Z alcanza el nivel nanométrico. Esta alta precisión y repetibilidad pueden cumplir con los estrictos requisitos de la industria de semiconductores para la medición del espesor de la película.
Medición sin contacto:
El perfilador óptico de KLA adopta un método de medición sin contacto, evitando posibles daños y errores causados por la medición de contacto. Esto es particularmente importante para las frágiles estructuras de película delgada en la fabricación de semiconductores.
Versatilidad:
El perfilador óptico de KLA no solo tiene la función de medir el espesor de la película, sino que también puede medir el índice de refracción, la reflectividad, la transmisibilidad y otros parámetros para satisfacer las diversas necesidades de medición. Por ejemplo, el perfilador óptico Zeta - 20 admite mediciones escalonadas desde el nivel nanométrico hasta el nivel milimétrico y permite trazar un mapa de distribución del espesor de la película en la muestra para determinar la uniformidad de la muestra.
Fácil de operar y mantener:
Perfilador óptico de KLAPor lo general, tiene una interfaz de usuario amigable y funciones de medición automatizadas, que son fáciles de operar y mantener. Esto ayuda a reducir la dificultad de operación y mejorar la eficiencia de la medición.