1. tipo de contacto (método de sonda mecánica)

Este es el principio más básico. La sonda de alta precisión del instrumento entra lentamente en contacto con la superficie de la muestra, se mueve desde el sustrato hasta por encima de la película, y el espesor real de la película se mide directamente a través de la diferencia de altura percibida por la sonda. La ventaja es la Alta precisión, adecuada para películas gruesas (como películas metálicas, recubrimientos), pero puede dañar ligeramente la superficie de la muestra.

2. óptica (método de reflexión / refracción)

Trabajar aprovechando las características de reflexión o interferencia de la luz también es un tipo muy común de escritorio. Después de que la luz brilla en la superficie de la película, se producirá simultáneamente el reflejo de la superficie superior de la película y el reflejo de la interfaz entre la película y el sustrato, y los dos haces de luz reflejada producirán rayas de interferencia. El instrumento calcula automáticamente el espesor de la película analizando la distancia, la intensidad y otros parámetros de las rayas de interferencia, combinados con el índice de refracción óptica de la película. Adecuado para películas finas (como películas ópticas, películas semiconductoras), sin contacto sin dañar las muestras.

3. respuesta a la gripe del vórtice

Se dirige principalmente a películas conductoras (como películas metálicas). La sonda del instrumento produce un campo magnético alternativo, cuando el campo magnético está cerca de la película conductora, se producirá un vórtice en la película, que a su vez afectará la intensidad del campo magnético de la sonda. El espesor de la película es diferente y la intensidad del vórtice también es diferente. el instrumento convierte automáticamente el espesor de la película detectando la variación del campo magnético. Adecuado para la detección rápida de películas metálicas y recubrimientos conductores, sin contacto y eficiente.