En los campos de la fabricación de precisión, como semiconductores, fotovoltaica y microelectrónica, el proceso de secado después de la limpieza de las pastillas de silicio es una parte crucial. Cualquier mancha de agua residual, marca de agua o contaminante puede causar una caída en forma de Acantilado en la tasa de rendimiento de todo el lote de productos. Como equipo central de este enlace, el rendimiento de la secadora de silicio está directamente relacionado con la calidad del producto y el costo de producción. ¿Frente a la deslumbrante variedad de productos en el mercado, ¿ cómo evitar "pisar pozos"? Los siguientes parámetros clave son el núcleo en el que debe centrarse al comprar.
I. fuerza motriz central: motor y control de velocidad
El motor es el "corazón" de la máquina de secado, y su rendimiento determina directamente la estabilidad y la vida útil del equipo.
Punto de refugio: cuidado con los motores de ca de baja calidad o los motores con control deficiente. Este tipo de motores a menudo tienen un gran impacto de arranque, una velocidad inestable y una alta vibración acústica, lo que puede causar fácilmente grietas ocultas o incluso fragmentos en las frágiles pastillas de silicio al girar a alta velocidad.
Enfoque:
1. tipo de motor: se prefiere el motor de corriente continua sin cepillo. Tiene las ventajas de una amplia gama de regulación de velocidad, un funcionamiento estable, un control preciso, una alta eficiencia y una larga vida útil.
2. modo de control: se debe apoyar la regulación de la velocidad de conversión de frecuencia. Una excelente máquina de secado debe tener una función de arranque lento y parada lenta, es decir, la velocidad de rotación puede aumentar y disminuir linealmente sin problemas, minimizando el impacto de tensión mecánica en las pastillas de silicio.
3. velocidad máxima: debe determinarse de acuerdo con las necesidades del proceso. Por lo general, una velocidad de rotación más alta puede producir una mayor fuerza centrífuga y un mejor efecto de secado, pero también debe tener en cuenta el tamaño y la fragilidad de las pastillas de silicio.
II. adaptabilidad del proceso: sistema de control de temperatura y atmósfera
La simple fuerza centrífuga no puede evitar el problema de la "marca de agua", especialmente para las pastillas de silicio de líneas ultrafinas. Por lo tanto, el sistema de control de temperatura y atmósfera es el estándar de las máquinas modernas de secado.
Punto de refugio: "desnudo" con función centrífuga solo. Para los procesos estrictos, la superficie de las pastillas de silicio después del secado de este tipo de equipos puede formar fácilmente marcas de manchas de agua difíciles de eliminar.
Enfoque:
¿1. función de calefacción: ¿ el equipo tiene un módulo de calefacción? ¿¿ cuál es el rango de temperatura de trabajo? (por ejemplo, temperatura ambiente a 120 ° c). Un calentamiento moderado (como 50 - 80 ° c) puede acelerar efectivamente la volatilización del líquido y evitar que el secado lento forme marcas de agua.
¿2. tipo de atmósfera: ¿ se apoya la inyección de gases inertes (como nitrógeno de alta pureza n¿ 2)? La introducción de nitrógeno puede reemplazar el aire y el oxígeno en la cavidad para evitar que la superficie de la silicio se Oxide en un ambiente húmedo y de alta temperatura, formando una nueva contaminación.
¿3. control del flujo de gas: ¿ hay un medidor de flujo de gas preciso y un sistema de control? Un flujo de aire estable y adecuado es la clave para garantizar la repetibilidad del proceso.
3. compatibilidad y capacidad de producción: tamaño de la cavidad y adaptación de la canasta de flores
El diseño de la cavidad de la secadora determina qué productos puede manejar y cuánto puede manejar a la vez.
Punto de refugio: el tamaño de la cavidad o la interfaz de la canasta de flores no coinciden con la línea de producción existente, lo que hace que el equipo no pueda ponerse en uso o necesite personalización adicional, lo que aumenta el costo y el ciclo.
Enfoque:
1. capacidad y tamaño de la cavidad: aclarar el tamaño de las pastillas de silicio que deben procesarse (por ejemplo, 4 pulgadas, 6 pulgadas, 8 pulgadas, 12 pulgadas) y el tipo y la cantidad de canastas de flores / estantes de láminas. Asegúrese de que el espacio interior de la cavidad sea suficiente y que la Caja de silicio no interfiera con la pared de la cavidad después de colocarla.
2. adaptadores de canastas de flores: confirme si la base de canastas de flores (adapter) proporcionada por el dispositivo coincide con las canastas de flores estándar utilizadas en su fábrica, como la canasta de flores estándar semi. El desajuste puede causar que la canasta de flores se tambalee durante la operación, causando fragmentos.
IV. la piedra angular de la estabilidad: la vibración y el equilibrio dinámico
La vibración es el gran enemigo de las secadoras de silicio, que están directamente vinculadas a la tasa de fragmentos.
Punto de refugio: el equipo funciona "sacudiendo la tierra" o la amplitud de vibración varía mucho bajo diferentes cargas.
Enfoque:
1. tecnología de equilibrio dinámico: pregunte al fabricante qué tecnología de equilibrio dinámico ha adoptado. Un excelente diseño generalmente utiliza una corrección de equilibrio dinámico del rotor integral para garantizar que el sistema de rotación sea naturalmente estable a alta velocidad.
2. sistema de amortiguación: compruebe si el equipo está equipado con dispositivos de amortiguación eficientes (como resortes de amortiguación de alto rendimiento o amortiguadores).
3. datos de vibración: se requiere que el fabricante proporcione datos de prueba de vibración sin carga y a plena carga, y entienda sus estándares de vibración.
V. inteligencia y fiabilidad: interacción hombre - computadora y protección de la seguridad
La producción moderna presta atención a la trazabilidad, la facilidad de operación y la seguridad absoluta.
Punto de evitación de pozos: la interfaz de operación es compleja e incomprensible, los parámetros del proceso no se pueden almacenar y las medidas de protección de Seguridad son simples.
Enfoque:
1. sistema de control: PLC + pantalla táctil es la corriente principal y la opción actual. La interfaz debe ser intuitiva y permite configurar, almacenar y llamar fácilmente a varios grupos de fórmulas de proceso (como: curva de velocidad - tiempo - temperatura).
2. bloqueo de seguridad: debe estar equipado con un interruptor de bloqueo de Seguridad de la placa de cubierta, es decir, la placa de cubierta no se puede abrir durante la operación, y la tapa se detiene automáticamente cuando se abre. Esta es la seguridad más básica del equipo personal.
3. material y sellado: la cavidad y los componentes que entren en contacto con el gas de proceso y el líquido deben utilizar materiales resistentes a la corrosión como acero inoxidable (como 304 o 316l). Un buen rendimiento de sellado garantiza el efecto y la seguridad de la atmósfera seca.