Fenómeno: la sonda no puede entrar en contacto con precisión con el punto de prueba de la obleas o chips, lo que resulta en datos de prueba anormales.

1. inspección de la estructura mecánica (5 minutos)

El eje X / y / z está suelto:

Compruebe si los tornillos de bloqueo de la encimera de la Mesa de la sonda o el brazo de la sonda están sueltos.

Después de sujetar los tornillos, pruebe la precisión de posicionamiento repetida de la encimera con un indicador de dial.

La guía está atascada:

Limpie la Guía y aplique una pequeña cantidad de grasa.

Empuje manualmente la encimera para comprobar si hay atascos o ruidos anormales.

2. calibración del sistema óptico (10 minutos)

Desplazamiento del enfoque del microscopio:

Ajustar la altura del objetivo del microscopio para garantizar una imagen clara de la superficie de la obleas.

Verificar la precisión del enfoque con una placa de calibración, como una cuadrícula metálica de 10 micras de ancho de línea.

Desplazamiento de la Cámara cc:

Ejecute la función de "calibración de la cámara" en el software para volver a calibrar el sistema de coordenadas de la sonda y la imagen.

Compruebe si el cable de conexión de la Cámara está suelto.

3. restablecer los parámetros del software (5 minutos)

El sistema de coordenadas es confuso:

Haga clic en "restablecer el sistema de coordenadas" en el software de control para redefinir el origen.

Compruebe si el "valor de compensación de la sonda" en el software ha sido modificado incorrectamente.

Fallo de la tarjeta de control de movimiento:

Reinicie la tarjeta de control de movimiento (espere 1 minuto después de apagar la energía antes de encenderla).

Actualizar el firmware a la última versión.

II. mala contacto: diagnóstico y reparación rápidos

Fenómeno: el contacto de la sonda con el punto de prueba es inestable, lo que resulta en fluctuaciones en el valor de la resistencia o en un circuito abierto.

1. examen del Estado de la sonda (5 minutos)

Desgaste de la sonda:

Observar la punta de la sonda con un microscopio para comprobar si hay flexión, oxidación o desgaste.

Reemplazar las sondas de desgaste (como las que utilizan acero de tungsteno o cobre de berilio).

Deformación de la tarjeta de la sonda:

Compruebe si la tarjeta de la sonda está doblada y si la deformación supera los 0,1 mm debe reemplazarse.

Limpia la tarjeta de la sonda.

2. ajuste de la presión de contacto (10 minutos)

Presión excesiva / excesiva:

La fuerza de contacto de la sonda se mide con un medidor de presión, con un valor estándar de 2 - 5g.

Ajustar la tensión del resorte del brazo de la sonda (girar en el sentido de las agujas del reloj para aumentar la presión y disminuir en el sentido contrario a las agujas del reloj).

La encimera es desigual:

Compruebe si la encimera está horizontal con un medidor de nivel.

Ajuste los tornillos de soporte debajo de la encimera.

3. eliminación de interferencias ambientales (5 minutos)

Efectos electrostáticos:

Compruebe si el cable de tierra está bien conectado.

Utilice un ventilador de iones para neutralizar la electricidad estática.

Interferencia de vibración:

Mueva la Mesa de la sonda a una zona libre de vibraciones.

Coloque una almohadilla antivibración debajo de la encimera.

III. imagen inexistente: optimización y reparación rápidas

Fenómeno: la imagen del microscopio o la Cámara no es clara, lo que afecta la precisión de posicionamiento de la sonda.

1. limpieza de componentes ópticos (5 minutos)

Contaminación por lente:

Sople el polvo de la superficie del objetivo con un globo soplado y limpie con un hisopo de algodón sumergido en una pequeña cantidad de líquido de limpieza óptica.

Compruebe si la lente está suelta.

Atenuación de la fuente de luz:

Ajustar el brillo de la fuente de luz y reemplazar la bombilla envejecida.

Compruebe si el cable de conexión de la fuente de luz está suelto.

2. ajuste de los parámetros de imagen (10 minutos)

Enfoque inexacto:

Gire manualmente la perilla de enfoque del microscopio hasta que la imagen sea más clara.

Activar la función "enfoque automático" en el software.

Falta de contraste:

Ajuste la ganancia de la Cámara y el tiempo de exposición.

Utilice un ampliando la placa para reducir la reflexión.

3. colaboración entre software y hardware (5 minutos)

Falla de la tarjeta de procesamiento de imágenes:

Reinicie la tarjeta de procesamiento de imágenes (espere 1 minuto después de apagar la energía antes de encenderla).

Actualizar el controlador a la última versión.

La resolución de la Cámara no coincide:

Establecer la resolución de la Cámara en el software es consistente con los parámetros del hardware.

Compruebe si la tasa de fotogramas de la Cámara es demasiado baja.

IV. inspección integral y prevención

1. Lista diaria de mantenimiento

Limpiar la superficie de la Mesa de la sonda (limpiar con un paño sin polvo).

Comprobar el Estado de la sonda (observar la punta de la aguja con un microscopio).

Ejecutar el procedimiento de autoinspección.

2. prevención de fallas comunes

Desgaste de la sonda: reemplazar la sonda 5000 veces por prueba.

Mala exposición: limpiar regularmente la tarjeta de la sonda (1 vez al mes).

Imagen inexistente: calibración trimestral del sistema óptico (incluyendo lentes y cámaras).

3. manejo de emergencias

Rotura de la sonda: detener inmediatamente la prueba, sacar la aguja rota con pinzas y reemplazar la nueva sonda.

La encimera está atascada: apague la fuente de alimentación y suelte manualmente el dispositivo de bloqueo de la Guía (como el botón de Liberación de emergencia en el lado).

Colapso del software: forzar el reinicio de la computadora (presionar el botón de encendido durante 5 segundos) y restaurar el archivo de configuración de respaldo.

Resumen: al investigar los problemas mecánicos, eléctricos, ópticos y de software paso a paso, se pueden resolver las fallas de posicionamiento inexacto, contacto deficiente y falta de imagen de la Mesa de sonda en 30 minutos. El mantenimiento regular y las inspecciones preventivas pueden reducir significativamente la tasa de falla y garantizar la estabilidad de las pruebas.