Como equipo central del tratamiento térmico de materiales, la estabilidad del horno de atmósfera de vacío afecta directamente la precisión de los datos experimentales y la calidad de las muestras. A continuación, se ordenan los detalles, las causas y las soluciones de las fallas comunes a partir de los seis módulos clave:
I. anomalías en el sistema de calefacción
Fenómeno de falla: retraso en la velocidad de calentamiento, temperatura real por debajo del valor establecido o sobrecalentamiento local.
Razones centrales:
- envejecimiento de los elementos de calefacción eléctrica: el grano se engrosa a altas temperaturas a largo plazo de la barra de carbono de silicio / alambre de molibdeno, y el aumento de la resistencia conduce a una disminución de la potencia;
- mal contacto: óxido y aflojamiento de los terminales de los electrodos, aumento de la pérdida de transmisión de corriente;
- falla del termómetro: la rotura de la capa aislante del cable de compensación provoca la deriva de la señal o el contacto del extremo caliente está cubierto por materia volátil.
Soluciones:
→ medir regularmente la resistencia de los elementos de calefacción eléctrica (la nueva barra de carbono de silicio es de unos cientos de ohm), y reemplazarla si excede el estándar;
→ use papel de arena para pulir los contactos de los electrodos y aplicar pasta conductora, y una llave de par para fijar la tuerca de cableado;
→ al calibrar el par térmico, es necesario colocar el extremo caliente en el centro del horno para evitar la zona de soplado directo del flujo de aire.
2. falta de vacío
Rendimiento típico: el vacío límite es más del 30% inferior al valor teórico, y la presión se recupera rápidamente durante el período de presión.
Trazabilidad de los peligros ocultos:
- falla del anillo de sellado: el anillo o se agrieta debido al envejecimiento a alta temperatura o se deforma por extrusión de la brida durante la instalación;
- deterioro del rendimiento de la bomba de vacío: el bloqueo del filtro de niebla de aceite conduce a una disminución de la velocidad de bombeo y una brecha de desgaste de la placa giratoria superior a la mala;
El punto de fuga de aire está oculto: el sellador de la ventana de observación se agrieta, el sello dinámico del vástago falla y otras fugas menores.
Habilidades diagnósticas:
Método de detección de fugas segmentadas: cierre la válvula alta y solo abra la tubería de la etapa delantera de la prueba de la válvula baja para reducir gradualmente el alcance de la fuga;
El detector de fugas de espectrometría de masas de helio puede localizar con precisión la pequeña tasa de fuga del nivel 0,1pa · mò / S.
III. control de la atmósfera inexacto
Características anormales: El medidor de flujo muestra grandes fluctuaciones y la composición del gas de salida se desvía de la proporción establecida.
Investigación de enlaces clave:
Desplazamiento de calibración del controlador de flujo de masa (mfc): la entrada a largo plazo de gas corrosivo conduce a la deriva cero del sensor;
- mala uniformidad de la mezcla de gas: el volumen de amortiguación de confluencia de gas multicanal es insuficiente para producir un flujo pulsante;
- válvula reguladora de contrapresión atascada: la acumulación de partículas en el cuerpo impide el movimiento del pistón.
Puntos clave de mantenimiento:
Lavar el camino de gas con nitrógeno trimestralmente y reemplazar el filtro frontal de metano; Para los gases reactivos (como nh), se utiliza un camino de gas de aleación de Harbin resistente a la corrosión.
IV. trastornos en los procedimientos de control de temperatura
Ejemplo de síntomas: falló el autoajuste de los parámetros de la EIP y la tasa de enfriamiento entre segmentos saltó anormalmente.
Incentivos de software y hardware:
Interferencia electromagnética del termómetro: los armónicos generados por el inversor se acoplan al tablero de control a través del cable de transmisión;
- sinterización de los contactos de los relés: la conexión frecuente de grandes cargas de corriente conduce a la adherencia de los contactos;
- envejecimiento del relé de estado sólido (ssr): el aumento de la caída de presión de conducción provoca una potencia de salida insuficiente.
Medidas de protección:
Instalar un cable de tierra independiente para eliminar la interferencia electromagnética; Elija el relé de contacto dorado de la clase de automóvil; La SSR realiza pruebas de reemplazo cada año.
V. falla en el sellado del cuerpo del horno
Riesgo alto: el vertido de aire provoca una reacción de oxidación o la condensación y corrosión de la pared interior de la Sección de enfriamiento.
Partes clave de inspección:
- desgaste del piñón y el estante de la puerta del horno: apertura y cierre frecuentes causan un espacio de transmisión demasiado grande y una presión de sellado insuficiente;
- relajación de los pernos de brida: las diferencias en el coeficiente de expansión de diferentes materiales a altas temperaturas conducen a la liberación de tensión;
- grietas en el vidrio de cuarzo de la ventana de observación: grietas microscópicas causadas por el impacto térmico repentino y frío.
Programa de restauración:
Reemplazar las juntas de devanado metálico rellenas de politetrafluoroen; Se utiliza un programa de calentamiento escalonado para reducir el estrés térmico.
6. fallas en el sistema de agua circulante
Reacción en cadena: la temperatura excesiva del agua desencadena una parada de protección contra sobrecarga, y la escala bloquea el intercambiador de calor para reducir la eficiencia de enfriamiento.
Estrategias de prevención y control:
Instalar intercambiadores de calor de placas para pretratar el agua de enfriamiento y mantener la temperatura de entrada de agua inferior a 25 grados celsius;
Limpiar el filtro del tanque de agua mensualmente y limpiar la tubería del refrigerante con detergente trimestralmente;
- configurar el dispositivo de conmutación automática de la fuente de agua de doble vía para evitar la interrupción del suministro principal de agua.