Recubrimiento al vacío (como chorro de magnetrón, recubrimiento por evaporación,PECVD) las necesidades básicas sonMantenimiento de alto vacío, baja contaminación y ritmo de proceso estableEl material de sellado, el diámetro y la velocidad de apertura y cierre de la válvula de vacío deben ajustarse a la profundidad del enlace del proceso (bombeo al vacío, recubrimiento, entrada y salida de la pieza de trabajo). la siguiente es la lógica de coincidencia específica:

I. material de sellado: adaptarse al vacío y al medio para eliminar la contaminación

El material de sellado determina directamente la tasa de fuga, la resistencia a la temperatura y la liberación de contaminantes de la válvula, que debe combinarse con el nivel de vacío y el tipo de medio del proceso de recubrimiento:

1. Emparejar el material de sellado por vacío

2. Requisitos especiales para los medios de proceso

·Si el proceso de recubrimiento utiliza gases corrosivos (como cloro, flúor): se prefiereCaucho perfluoro..FFKM(...) OSello de aleación de HarbinEvitar fallos de sellado y fugas de gas causadas por el envejecimiento del caucho;

·Si se trata de un sistema de vacío sin aceite (como el recubrimiento de semiconductores): está estrictamente prohibido usar materiales de sellado con aceite, hay que elegir “Certificación sin aceite",Sellado de caucho o metal, conMKSUso de bombas de vacío secas para evitar la contaminación por vapor de aceite de la capa de recubrimiento;

·Proceso de recubrimiento a alta temperatura (como recubrimiento por evaporación a alta temperatura, temperatura)300℃): selecciónSello metálico (almohadilla de cobre, almohadilla de aluminio) O caucho flúor resistente a altas temperaturas para evitar que el material de sellado se descomponga a altas temperaturas para producir contaminantes.

3. Adaptabilidad al sistema de detección de fugas

La tasa de fuga del material de sellado debe coincidir con la precisión de detección de fugas del sistema de vacío, se recomienda elegir la tasa de fuga.≤10⁻¹⁰ Pa・m³/sVálvulas (por ejemploMKSEquipado con válvulas de vacíoFFKMSello), formando un circuito cerrado con el detector de fugas de espectrometría de masas de helio para garantizar la estabilidad del vacío de la cavidad de recubrimiento.

2. diámetro: coincidir con la demanda de flujo y el ritmo del proceso, equilibrar la eficiencia y el mantenimiento del vacío

El diámetro a través (diámetro interior de la válvula) determina la velocidad de bombeo de gas y la capacidad de tráfico de la pieza de trabajo, que debe calcularse de manera integral en combinación con el volumen de la cavidad de recubrimiento, el tiempo de bombeo al vacío y el tamaño de la pieza de trabajo:

1. Fórmula central para la selección de diámetro (versión simplificada)

DiámetroD()mm (mm)(...)≈ √(V×S÷t)Entre ellos:

·V: volumen de la cavidad recubiertaL);

·S: velocidad de bombeo de la bomba de vacío..L/s, comoMKS EDGESerie de bombas de vacío de apoyo);

·t: tiempo de vacío objetivos).

2. Coincidencia de diámetro en diferentes escenas de recubrimiento

3. Precauciones clave

·El diámetro excesivo puede conducir fácilmente a un aumento del riesgo de fuga de vacío, que debe combinarse con bombas de vacío de mayor velocidad de bombeo; Si el diámetro es demasiado pequeño, prolongará el tiempo de bombeo al vacío y reducirá el ritmo de la línea de producción;

·Sistema de recubrimiento multicanal (como el chorro de magnetrón multiobjetivo): el canal principal de extracción se selecciona con un diámetro grande..DN80 ~ DN125), el canal de rama se selecciona con un pequeño diámetro ()DN15 ~ DN40), realizar el control de vacío de división.

3. velocidad de apertura y cierre: adaptarse al proceso para evitar fluctuaciones de vacío y defectos de recubrimiento

La velocidad de apertura y cierre (el tiempo desde que la válvula está completamente cerrada hasta que está completamente abierta) debe ajustarse de acuerdo con las necesidades centrales de los enlaces de proceso para evitar la velocidad excesiva./.Demasiado lento causa fluctuaciones de vacío o problemas de calidad de la capa de recubrimiento:

1. Coincidencia de velocidad en diferentes enlaces de proceso

2. Coordinación entre la velocidad y el material de sellado

·Abrir y cerrar la válvula rápidamente: dar prioridad a los materiales de sellado resistentes al desgaste y al impacto (como el caucho flúor y el sello metálico), evitar el desgaste del sello causado por interruptores frecuentes y prolongar la vida útil;

·Abrir y cerrar lentamente la válvula: se puede elegir un sello de Goma de silicona más elástico para reducir la fuerza de impacto al cerrar la válvula y mejorar la fiabilidad del sello.

3. Adaptación al ritmo de la línea de producción

·Línea de producción en masa (como recubrimiento de vidrio para teléfonos móviles): elija abrir y cerrar la válvula rápidamente..0,1 ~ 0,3 s), colocaciónMKSLa función de arranque y parada rápidos de la fuente de alimentación de radiofrecuencia acorta el tiempo de proceso de un solo lote;

·Recubrimiento personalizado de alta precisión (como lentes ópticas): se utiliza una válvula de apertura lenta y cierre lento..2 ~ 3 s) evitar defectos como espesor desigual y diferencia de color de la capa de recubrimiento debido a fluctuaciones de vacío.

4. selección de casos de coincidencia integral

a «100 LCavidad recubierta por pulverización de magnetrón (alto vacío)10⁻⁷ Pa, producción en masa de vidrio para teléfonos móviles)",Como ejemplo:

1. Material de sellado: selecciónFFKMCaucho perfluoro (baja tasa de descarga, resistencia a la corrosión por plasma), que coincide con los requisitos de vacío súper alto;

2. Diámetro: volumen de la cavidad recubierta100 litros, velocidad de bombeo de la bomba de vacío50 L/s, tiempo de vacío objetivo60 segundos, calcular el diámetro≈√ (100 × 50 ÷ 60) ≈9 mm, selección realDN40（1,5 ") diámetro, reserva de redundancia;

3. Velocidad de apertura y cierre: para la etapa de vacío0,2 segundosAbra la válvula solenoide rápidamente para cambiar el medio de recubrimiento1,5 segundosAbrir lentamente la válvula neumática, entrada y salida de la pieza de trabajo3 segundosAbra la válvula eléctrica lentamente para equilibrar la eficiencia y la estabilidad.

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