Sensofar s Neox logra una cobertura de medición completa desde una superficie lisa a nivel subnanométrico hasta una estructura áspera a nivel milimétrico a través de un cambio sin problemas de la tecnología de enfoque común, interferencia y superposición de superficies multifocales.
La tecnología de enfoque común filtra la luz no enfocada a través del agujero de la aguja, obtiene imágenes bidimensionales de alto contraste y construye una morfología 3D después del escaneo longitudinal. La resolución transversal del modo es de 0,10 micras, y cuando se combina con una lente de apertura numérica de 150 veces y 0,95 veces, la pendiente de medición de la superficie lisa alcanza los 70 °, la superficie áspera alcanza los 86 °, y la repetibilidad de la medición del eje Z es estable en el nivel nanométrico. Adecuado para la identificación de pequeñas líneas, grietas y otras estructuras finas, como la detección de la morfología de la línea de los chips semiconductores.
El modo de interferencia de luz blanca y cambio de fase se optimiza para diferentes superficies lisas: la resolución longitudinal de la interferencia de luz blanca es de 0,1 nm, y se adapta a superficies ligeramente ásperas; La interferencia de cambio de fase da una precisión nanométrica, diseñada especialmente para superficies superlisas, y ninguna de las dos se ve afectada por la amplificación. La tecnología de superposición de superficies multifocales se centra en superficies ásperas, con una profundidad de escaneo única de 8 mm, que puede hacer frente a las necesidades de medición de estructuras complejas como moldes y piezas de fabricación aditiva.
El cambio de estos modos se realiza automáticamente a través de un motor óptico inteligente, y el usuario solo necesita hacer clic una vez para operar, y el sistema selecciona la tecnología de adaptación de acuerdo con las características de la tarea de medición. Por ejemplo, al medir la superficie superlisa de la lente óptica, se cambia automáticamente a la interferencia de cambio de fase; Al detectar la estructura áspera del molde, se activa el modo de superposición de superficies multifocales.
Tabla de adaptación del modo técnico
Cuando se utiliza, el usuario no necesita juzgar manualmente la adaptabilidad del modo, y el software lo recomienda automáticamente de acuerdo con las características de la superficie de la imagen de previsualización, o se puede seleccionar manualmente en la "configuración avanzada". El diseño ha mejorado considerablemente la capacidad de adaptación del equipo a diferentes muestras, cubriendo las necesidades de medición de electrónica, automoción, medicina y otras industrias.