En el proceso de fabricación de semiconductores, el grabado es un eslabón clave del proceso, y su precisión determina directamente las ventajas y desventajas del rendimiento del chip. Los métodos de medición tradicionales a menudo no son capaces de hacer frente a perfiles grabados complejos, y la aparición del perfilador óptico 3D sensor s Neox ha traído soluciones innovadoras a este problema.

El proceso de grabado elimina selectivamente el material de chip para dar forma a las características del circuito a través del grabado húmedo o el grabado seco. En este proceso, la uniformidad de la profundidad de grabado y la precisión del ángulo de la pared lateral se convierten en parámetros clave que afectan el rendimiento del dispositivo. Especialmente con la reducción continua del tamaño del dispositivo, los requisitos para la precisión de medición son cada vez más altos.

El perfilador óptico 3D sensofar s Neox utiliza una tecnología de medición de lente de interferencia de 50 veces, que puede capturar con precisión la información de contorno tridimensional del perfil grabado. Este método de medición sin contacto y de alta resolución proporciona a los fabricantes medios efectivos de monitoreo de procesos.

A través del software sensor pro de Xian jin, el sistema puede realizar análisis automáticos de altura a nivel nanométrico, lo que mejora en gran medida la eficiencia y precisión de la medición. Este avance tecnológico permite que las características de grabado cumplan estrictamente los requisitos de tolerancia dimensional y proporcionen soporte de datos confiable para la optimización del proceso.

El perfilador óptico s Neox integra cuatro tecnologías: enfoque común, interferencia, superposición multifocal AI y medición del espesor de la película, formando una solución de medición completa. Este concepto de diseño de integración multitecnológica le permite hacer frente a una variedad de escenarios de medición complejos.

Tecnología de enfoque comúnOfrecer el Gao más altoLa resolución horizontal alcanza una resolución horizontal de 0,14 micras, que cumple con los exigentes requisitos de la medición de dimensiones clave.Tecnología de interferenciaPor su parte, se puede lograr una medición de la altura de la resolución yae, especialmente adecuada para la caracterización de superficies lisas y continuas.

Sensofar ha optimizado en profundidad la experiencia del usuario. El software sensoscan proporciona una interfaz de operación clara e intuitiva, y el usuario puede completar la medición automática con solo un clic. El sistema es capaz de identificar de manera inteligente las condiciones de iluminación y el rango de medición de Zui jia, obteniendo resultados de alta calidad en pocos segundos.

El soporte del módulo de medición automática permite a los usuarios realizar fácilmente la programación personalizada y completar la gestión de calidad y la detección de objetivos. A través de la función de contrapunto de reconocimiento automático de imágenes, se realiza una medición totalmente automatizada sin intervención, lo que mejora significativamente la eficiencia de la detección.

La tecnología muestra fuertes ventajas en varios campos:

Fabricación MicroelectrónicaEn él, se puede medir rápidamente y sin daños la desviación inicial del sensor de nanopresión;

Mecanizado de precisiónCampo, que puede medir con precisión los parámetros de corte de herramientas complejas;

Equipo médicoIndustria, que proporciona soporte para el análisis de la morfología de la superficie de los implantes dentales.

Sensofar siempre se adhiere a los estándares de calidad más gao, y todos los equipos Wan siguen el estándar iso25178. El sistema utiliza bloques estándar trazables para la corrección para garantizar la precisión y fiabilidad de los datos de medición. Este riguroso sistema de control de calidad proporciona una garantía de medición confiable para la investigación científica y la producción industrial.

Con el desarrollo continuo de la tecnología de semiconductores, los requisitos para la precisión de medición continuarán mejorando. A través de la innovación tecnológica, el perfilador óptico 3D sensofar s Neox ha establecido nuevos estándares de la industria para la medición de perfiles de grabado, ayudando a la industria manufacturera a avanzar hacia una dirección más precisa e inteligente.

Este instrumento no solo representa el nivel más alto de Gao de la tecnología de medición óptica actual, sino que también sienta una base sólida para el desarrollo futuro de la fabricación de micro y nano. Su excelente rendimiento y rendimiento confiable lo convierten en una opción ideal para el control de calidad de las instituciones de investigación científica y las empresas.