Falla del sistema de alimentación

Fenómeno: no hay respuesta del equipo, fluctuación anormal de la corriente y el voltaje

Pasos de diagnóstico:

Compruebe si el cable de alimentación, el enchufe y el enchufe están firmemente conectados y use un multímetro para probar la estabilidad de la salida de voltaje.

Detecta el circuito interno del módulo de alimentación e investiga si el fusible está fundido o si la inducción capacitiva está envejecida.

Soluciones:

Reconectar las piezas sueltas y reemplazar los cables de alimentación o enchufes dañados.

Reparar o reemplazar el módulo de alimentación para asegurarse de que la salida de voltaje cumple con las especificaciones del equipo.

Falla del sistema de vacío

Fenómeno: falta de vacío y prolongación del tiempo de extracción

Pasos de diagnóstico:

Utilice un detector de fugas de helio para localizar la tubería de vacío, el anillo de sellado o el punto de fuga del cuerpo de la bomba.

Compruebe el nivel de aceite y la calidad del aceite de la bomba de vacío y observe si hay ruido anormal o sobrecalentamiento en el cuerpo de la bomba.

Soluciones:

Reemplazar el anillo de sellado envejecido y apretar la interfaz de la brida suelta.

Limpiar o reemplazar el aceite de la bomba de vacío y reparar las fallas mecánicas del cuerpo de la bomba.

Proceso de pulverización anormal

Fenómeno: el objetivo no puede permitirse el lujo de brillar y el espesor de la película es desigual

Pasos de diagnóstico:

Compruebe si el objetivo está instalado verticalmente y si hay óxido o contaminantes en la superficie.

Medir la resistencia de aislamiento entre el objetivo y el cable de tierra para eliminar el riesgo de cortocircuito.

Monitorear la curva de voltaje / corriente de pulverización y juzgar si hay descarga de arco o cambio de modo.

Soluciones:

Reinstalar el objetivo y ajustar el espaciamiento para limpiar la superficie con propanol.

Reparar la conexión del cable de tierra y aumentar las juntas aislantes.

Optimizar los parámetros de coincidencia de energía y inhibir la descarga de arco.

Falla del sistema de control de gas

Fenómeno: flujo de gas inestable, proporción de gas de reacción desequilibrada

Pasos de diagnóstico:

Compruebe el Estado de calibración del medidor de flujo de masa y observe si hay fugas en la válvula.

Analizar la composición del gas residual y confirmar si hay infiltración de gas externo.

Soluciones:

Recalibrar el metano y reemplazar la válvula de fuga.

Optimizar el diseño de la ruta de gas y aumentar el dispositivo de purificación de gas.

II. estrategia de mantenimiento sistemático

Mantenimiento diario

Limpieza y mantenimiento:

Limpie la carcasa del equipo con un paño sin polvo todos los días para evitar la acumulación de polvo.

Limpiar el interior de la Cámara de pulverización cada semana y eliminar los residuos del objetivo con un disolvente especial.

Monitoreo de parámetros:

Registre parámetros clave como el vacío y el voltaje / corriente de pulverización, y establezca un gráfico de análisis de tendencias.

Compruebe regularmente el nivel y la temperatura del refrigerante para garantizar el funcionamiento normal del sistema de disipación de calor.

Revisión periódica

Sistema eléctrico:

Compruebe si el cable de alimentación y el conector de la placa de control están oxidados y apriete los tornillos sueltos.

Pruebe la estabilidad de salida de la fuente de alimentación de alta tensión y reemplace el capacitor de Envejecimiento.

Componentes mecánicos:

Lubricar los componentes giratorios de la bomba de vacío y reemplazar los cinturones o rodamientos desgastados.

Compruebe la flexibilidad del mecanismo de rotación del objetivo y elimine los cuerpos extraños atascados.

Sistema de vacío:

Reemplazar el anillo de sellado de la Cámara de vacío.

Limpiar la pared interior de la tubería de vacío y eliminar los sedimentos.

Mantenimiento preventivo

Gestión de consumibles:

Establecer un mecanismo de alerta temprana para el inventario de consumibles, como objetivos y anillos de sellado, para evitar el tiempo de inactividad debido a la falta de piezas.

Se da prioridad a la selección de objetivos con fuerte resistencia a la intoxicación.

Control ambiental:

Mantener la estabilidad de la temperatura y la humedad del laboratorio y reducir el riesgo de condensación del equipo.

Instalar suelo antiestático para evitar que los componentes eléctricos se rompan por electricidad estática.

III. precauciones clave

Operación segura:

Antes del mantenimiento, se debe desconectar la fuente de alimentación y liberar el capacitor de alta tensión.

Use guantes a prueba de Corte para manipular el objetivo y evitar arañazos de escombros metálicos.

Copia de Seguridad de datos:

El dispositivo de respaldo regular controla los parámetros del software para evitar que el colapso del sistema provoque la pérdida del proceso.

Apoyo profesional:

Las fallas complejas deben ponerse en contacto con el ingeniero de la fábrica original para repararlas para evitar la falla de la garantía causada por el desmontaje no autorizado.