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Puntos clave de mantenimiento y gestión de hornos tubulares verticales en miniatura
Fecha:2025-09-19Leer:1

Minitipo abierto en miniaturaHorno de tubo verticalSu diámetro de tubo de horno es opcional de Phi 30 / 50 mm, que es adecuado para colgar, quemar y enfriar las muestras en un ambiente protegido por vacío o atmósfera. Si se seleccionan diferentes accesorios para combinar con el dispositivo, también se puede utilizar como un horno de tubo vertical de lecho fluidizado, que se puede utilizar específicamente para experimentos de CVD depositados en la superficie del polvo, en este momento, se incrusta un núcleo de arena de cuarzo en el interior del tubo de horno de cuarzo de alta pureza, con un tamaño de Poro de 5 - 15 um. El polvo aglomerado se coloca en la capa del núcleo de arena, el gas entra por la brida inferior del tubo del horno, y las partículas de la muestra se suspenden en la zona de calentamiento (generalmente estables en la zona de temperatura constante) impulsadas por el flujo de aire a través de la capa del núcleo de arena para realizar experimentos de deposición.

Puntos clave de la gestión del mantenimiento:
Mantenimiento de los elementos de calefacción:
Inspección periódica: inspección visual mensual de si el alambre de calentamiento (barra de silicio y molibdeno / alambre de resistencia) está oxidado, roto o derretido localmente, y apriete el terminal trimestralmente.
‌ estándar de reemplazo: si el diámetro del alambre de calentamiento se reduce en más del 20% o el valor de resistencia cambia en más de ± 10%, debe reemplazarse inmediatamente.
‌ prolongación de la vida útil larga: se puede reducir la pérdida de oxidación aumentando la capa de óxido o las medidas de protección contra el gas (como el nitrógeno).
Limpieza y estanqueidad del tubo del horno:
‌ limpieza física: después de cada experimento, utilice una aspiradora o aire comprimido para eliminar el polvo residual en el tubo del horno y evitar la corrosión por carbonización a alta temperatura.
‌ limpieza química: la deposición de carbono se puede remojar en ácido clorhídrico diluido al 10% durante 2 horas (se necesita confirmar la compatibilidad del material del tubo del horno).
‌ prueba de estanqueidad de aire: revise las fugas de la interfaz con agua jabonosa mensualmente y pruebe el vacío trimestralmente (por debajo de 10⁻ pa necesita reemplazar el anillo de sellado).
Protección de seguridad e Inspección estructural:
‌ protección contra sobretemperatura: asegúrese de que la función de alarma contra sobretemperatura y Corte de energía sea normal para evitar sobrecalentamientos y daños en los elementos de calefacción.
Inspección física del horno: observar regularmente las grietas en la carcasa y el envejecimiento de la capa aislante para evitar accidentes de seguridad causados por altas temperaturas.
Mantenimiento del sistema de vacío y atmósfera:
‌ mantenimiento de la bomba de vacío: reemplazar regularmente el aceite de la bomba de vacío, limpiar las tuberías y evitar el bloqueo de sedimentos blancos.
Cambio de anillo de sellado: el envejecimiento del anillo de silicona resistente a la temperatura puede causar un vacío insuficiente, por lo que debe reemplazarse a tiempo.