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Agilent Technologies (China) Co., Ltd
Espectrómetro de agilent: "motor óptico" para la prueba de rendimiento de los componentes ópticos de la fotolitografía habilitada
Fecha:2025-10-29Leer:0
Con el avance continuo de los nodos de proceso avanzado, la posición de la fotolitografía láser excímera ARF de 193 nm en la fabricación de semiconductores se ha vuelto cada vez más importante. Su interior contiene un gran número de elementos ópticos de alta precisión, como lentes de proyección, máscaras, polarizantes, despolarizadores, espejos, etc. las propiedades ópticas de estos elementos determinan directamente la resolución, uniformidad y rendimiento del patrón del chip.
¿¿ cómo evaluar con precisión la transmisión, la reflectividad, la respuesta de polarización y la Dependencia del ángulo de estos componentes durante el proceso de investigación y desarrollo y producción en masa?El espectrómetro de infrarrojo cercano visible ultravioleta de la serie Agilent cary4000 / 5000 / 6000i / 7000 es la solución ideal para este desafío.
Los siguientes son los componentes ópticos comunes en las fotolitográficas y sus necesidades de prueba:
Pruebas de transmisión de lentes, ventanas, máscaras, etc.
Prueba de reflectividad de 45 ° del espejo
Prueba de la relación de extinción entre el polarizador y el despolarizador
Estos elementos y requisitos de prueba plantean altos requisitos para la capacidad de prueba del espectrómetro, y la dificultad de la prueba se refleja principalmente en:
193 nm pertenece a la zona ultravioleta profunda (duv), y los pequeños cambios ambientales y la contaminación de la muestra pueden afectar la absorción de luz en esta banda, por lo que el proceso de prueba plantea mayores requisitos para la estabilidad del equipo.
Los pequeños errores en indicadores como la transmisibilidad, la reflectividad y la relación de extinción de los elementos fotolitográficos pueden causar distorsiones en el patrón o fallos en el proceso, por lo que se plantean mayores requisitos para la precisión y repetibilidad de los equipos de detección.
La prueba de gran ángulo de 193 nm requiere la introducción de un polarizador, pero el material del polarizador en esta banda es caro, difícil de procesar y fácil de contaminar.
La zona ultravioleta de Agilent cary4000 / 5000 / 6000i / 7000 utiliza una fuente de luz de lámpara de deuterio, que puede cubrir un rango de longitud de onda tan bajo como 175 nm, y está equipada con un detector de tubo Fotomultiplicador (pmt) para garantizar una respuesta de sensibilidad súper alta en banda baja; Al mismo tiempo, el instrumento adopta un diseño de doble haz de luz, que puede corregir las fluctuaciones de la fuente de luz y la interferencia ambiental en tiempo real, mejorando efectivamente la repetibilidad y precisión de las pruebas; Además, los usuarios pueden personalizar el accesorio de polarización ultravioleta profunda, combinado con la aplicación del accesorio uma, para lograr la medición de reflexión y la medición de la relación de extinción bajo la polarización S / P de gran ángulo.
Izquierda: Agilent cary4000 / 5000 / 6000i / 7000
Derecha: Agilent cary7000
Capacidad de prueba del espectrómetro de infrarrojo cercano visible ultravioleta de la serie Agilent Cary en banda baja:
Placa de cuarzo de prueba principal: 190 - 270 nm, transmisión de 0 ° y medición repetida 10 veces.
En 10 pruebas a 193 nm, la diferencia máxima - mínima fue del 0,02% T.
Resultados repetitivos de 10 pruebas de transmisión de 0 ° de la placa de cuarzo en el motor principal
Anexo automático de transmisión multiángulo y reflectividad absoluta (uma), con polarizador ultravioleta polar personalizado para probar espejo chapado en aluminio: 190 - 380 nm, reflectividad absoluta de 45 °.
En un gran ángulo, la relación señal - ruido de RP y Rs a 193 nm es buena.
Resultados de la prueba de reflectividad absoluta de 45 ° del espejo de aluminio con accesorios uma
Hoy en día, con la evolución de los procesos avanzados, las pruebas de rendimiento de los componentes ópticos han cambiado de "opcional" a "enlaces clave".El espectrómetro de la serie Agilent cary4000 / 5000 / 6000i / 7000, con sus características de alta precisión, alta eficiencia y funciones completas, apoya el desarrollo de fotorresistentes, la selección de componentes ópticos, la evaluación del envejecimiento de materiales, la verificación de la consistencia del recubrimiento y otras aplicaciones, y desempeña un papel importante en su proceso de medición y análisis de alta precisión para ayudar a los ingenieros a localizar rápidamente los problemas, optimizar el proceso, mejorar el rendimiento y ayudar al proceso de litografía a un nivel superior.A medida que la tecnología de fabricación de semiconductores continúe desarrollándose, la demanda de medición y análisis de componentes ópticos será cada vez más fina, y la serie Agilent Care continuará proporcionando un sólido soporte técnico para este proceso.