Medidor de vacío de película metálica de condensadores de tecnología de potencial de dominio

Medidor de vacío de película metálica de condensadores de tecnología de potencial de dominio(tipo de alta temperatura)

El medidor de vacío de película metálica capacitiva de alta temperatura está diseñado con un capacitor diferencial de doble electrodo unilateral, y todos los materiales expuestos al gas de proceso sonInconel / IncoloyAleación, circuito frontal de sensibilidad súper alta y algoritmo * que garantiza una alta sensibilidad y precisión de medición a presión de trabajo, respuesta rápida, rendimiento estable, fuerte resistencia a la corrosión, proporciona150℃a200℃Dos versiones de alta temperatura mejoran enormemente el impacto del material depositado en el diafragma capacitivo, proporcionando1 confianzaa1000 tormentosRango de escala completa, excelente rendimiento, adecuado para semiconductores exigentes、PlasmayPurificación de materiales de alto riesgo, etc.Campo, síIdeal para la medición y control precisos de la presión total.

Ventajas

1.Sensor de presión absoluta de condensadores diferenciales de película metálica de alta temperatura

lAltamente sensible

lAlta precisión y repetibilidad

lAlta estabilidad a largo plazo

2.Todos los sensores son robustos y resistentes a la corrosión.Inconel合金

lNo depende del gas, los resultados de la medición no tienen nada que ver con la composición del gas

lPermitir el uso con gases corrosivos o sucios

lEl material del medidor de vacío no contamina el proceso.

3.La señal de salida es rica

lFácil integración, rica interfaz para satisfacer diversas necesidades de integración de sistemas

lIndependienteTipo CDiagnóstico, puesta en marcha, configuración de la interfaz

4.Función de salida de averías/.Función de salida de activación de presión

lSalida a través del relé: falla de temperatura constante y falla del equipo/.Señal de activación de presión

Medidor de vacío de película metálica de condensadores de tecnología de potencial de dominio(tipo de alta temperatura)

Parámetros técnicos

indicador	Especificaciones y parámetros
Rango a escala completa	1torr, 10torr, 100torr, 1000torr,定制
Precisión	Lectura de ± 0,5%
resolución	0,001% FS
Rango de lectura recomendado	0.005V a 10V@FS
Se recomienda controlar el rango de presión	0.05V a 10V@FS
Opción de temperatura interior del dispositivo	150℃，200℃
Tiempo de calentamiento	4 horas
Temperatura ambiente	15 a50℃
Función de activación	Opcional, dos interruptores de doble posición de un solo cuchillo, la distribución se puede configurar0,1% ~ 100% FS presión arbitraria, capacidad de relé 0.6A@30VDC
Función de salida de averías	Opcional, salida de fallas de temperatura constante y fallas del equipo a través del relé
salida	Salida analógica 0 - 10vdc, > 10K ohm; Salida rs422 (rs485 opcional)
Conectores eléctricos	D-Sub， 15 pies, enchufe de aguja; Enchufe de navegación m8, 5 pies, enchufe de paso
Fuente de alimentación de entrada	± 15 VDC (+ 5%), 24 VDC (+ 5%) o 20 a 26 vdc; Pico50W@150℃，70W@200℃
Límite de sobrepresión	45Psia
Materiales expuestos a gases de proceso	El tubo de entrada de la muestra esMaterial 316l, el resto son aleaciones Inconel e incoloy
Tiempo de respuesta del sensor	50 milisegundos
Dirección de calibración	Calibración vertical predeterminada, calibración horizontal opcional
Volumen interno	5,1 ML (sin interfaz de inyección)

Hangzhou Yushi Technology co., Ltd.Centrándose en proporcionar servicios técnicos y soluciones relacionadas con el flujo, la presión, la detección y el control de vacío para clientes industriales y científicos, la compañía distribuye Estados Unidos como agente.ALICAT、 Marcas como vogtlin en suiza, MKS en los Estados Unidos y Ebara en japón, combinadas con productos de agentes para proporcionar a los clientes soluciones de monitoreo de tráfico y presión de alta calidad, con el objetivo de mejorar la eficiencia de investigación y desarrollo y producción de los clientes, mejorar los procesos de fabricación de los clientes y promover el progreso de la investigación científica y la innovación de los clientes.