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Rango de temperatura - 120 ° C a 400 ° C estabilidad de temperatura ± 0,05 ° C uniformidad de temperatura ± 2% de la superficie de la muestra 2 pulgadas a 12 pulgadas planitud de la superficie 25um electrodos traseros triaxiales de puesta a tierra eléctrica potencial de la superficie 25um electrodos traseros opcionales de la Plataforma de sonda manual del instrumento de Adaptación de la Plataforma de sonda manual de la Plataforma de sonda semiautomática recocido láser campo aplicable prueba de obleas de cambio de temperatura óptica OLED del Chip Semiconductor