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Sistema de detección rápida de partículas en la superficie de la obleas (pds)

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Descripción general
El sistema de detección rápida de partículas en la superficie de obleas fastmicro (pds), diseñado especialmente para la medición directa de contaminantes de partículas en la superficie de productos de diversas industrias, se aplica principalmente a la detección de obleas, películas y máscaras en el campo de semiconductores, y también se puede utilizar para la detección de sustratos como el mercado de visualización. El sistema está equipado con un área de escaneo de campo de visión de 4 - 12 pulgadas (fov), que admite la detección de superficies superiores e inferiores. Su diseño óptico permite que el producto complete la detección sin moverse durante el proceso de medición. El sistema se puede personalizar de acuerdo con las diferentes necesidades del proceso de producción o integrarse directamente en la línea de producción.
Detalles del producto

FastmicroSistema de detección rápida de partículas en la superficie de la obleas (pds)


FastmicroSistema de detección rápida de partículas en la superficie de la obleas (pds)Diseñado para la medición directa de contaminantes de partículas en la superficie de productos de diversas industrias, se aplica principalmente a la detección de obleas, películas y máscaras en el campo de semiconductores, y también se puede utilizar para la detección de sustratos como el mercado de visualización. El sistema está equipado con un área de escaneo de campo de visión de 4 - 12 pulgadas (fov), que admite la detección de superficies superiores e inferiores. Su diseño óptico permite que el producto complete la detección sin moverse durante el proceso de medición. El sistema se puede personalizar de acuerdo con las diferentes necesidades del proceso de producción o integrarse directamente en la línea de producción.


Medición de consistencia en el proceso de producción

Rápido:Puede completar imágenes a gran escala en segundos

Cuantitativo:Verificación y monitoreo adecuado para el entorno de producción e investigación y desarrollo

Fácil de operar:No afectado por el operador, automatizado, método de agarre limpio

Precisión:Medición de alta resolución (cantidad, posición, tamaño)

Consistencia:Cada medición se mantiene objetiva y estable

Alto rendimiento:Se pueden obtener resultados en la ventana de tiempo del proceso

晶圆表面颗粒物快速检测系统(PDS)

FM - pds: detección directa de partículas superficiales

El sistema puede ser un proceso de fabricación de obleas, la próxima generación de semiconductores compuestos y una excelente aplicación de encapsulamiento.Uso para proporcionar servicios de detección de contaminación por partículas superficiales de alto rendimiento.

El sistema tiene un tamaño de partícula superior a 0,1.y μmLas partículas tienen una alta sensibilidad y son unOpciones eficientes y de prestación de servicios.

Puede ser operado de manera manual o automática, yBajo costo de mantenimiento, reemplazando el sistema tradicional de detección de partículas.

Para la próxima generación de aplicaciones de producción de semiconductores, el sistema PDS tiene atributos: doble cara con el mismoEscaneo de tiempo (opcional);

Escaneo de campo de visión estático (no es necesario mover el producto durante la adquisición de imágenes).

Plataforma modular multifuncional

El sistema se puede personalizar para adaptarse a cada proceso de certificación de producción o integrarse en la línea de producción. Su configuraciónIncluye dispositivos móviles de agarre manual o automático de obleas, apertura de encapsulamiento para detección y limpiezaEquipos, equipos de llenado, brazos robóticos, unidades de detección y equipos de limpieza.

El sistema se puede personalizar y expandir según las necesidades de los clientes. El módulo de medición también puede ser un sistema.Los integradores y fabricantes de equipos originales (oem) ofrecen servicios de oem.