Equipo de recubrimiento al vacío de ultra alta altitud

I. parámetros básicos:

Rango de precios: 2 - 3 millones

Tipo de instrumento: máquina de recubrimiento por evaporación de haz de electrones

Categoría de origen: nacional

Área de aplicación: Microelectrónica

Tamaño del sustrato: 4 pulgadas (personalizable)

Objetivo: al

Rango de temperatura del sustrato: RT - 900 ° C

Uniformidad del espesor de la película: uniformidad inferior al 3%

Vacío límite: < 1e - 9torr

2. sistema de uhv de Unión josephson:

Equipo de recubrimiento al vacío de ultra alta altitudPreparación profesional de la Unión josephson, que puede crecer con precisión la capa metálica y la capa aislante oxidada necesaria para garantizar la preparación de alto rendimiento y la alta tasa de rendimiento; Este medidor de recubrimiento tiene una cámara de entrada de muestra, una cámara de limpieza de iones de argón, una cámara de evaporación de haz de electrones y una cámara de oxidación, con un total de cuatro cámaras de cavidad de alta fidelidad, entre las cuales se utiliza una barra de transferencia de muestra para la transmisión de muestra de alto vacío, y el Módulo de transmisión debe adoptar un diseño de agarre; Todos los procesos del equipo admiten obleas o muestras irregulares de 4 pulgadas o menos. Todo el proceso del equipo se puede automatizar de acuerdo con los parámetros establecidos por el usuario. el proceso incluye no limitarse a: bombeo de vacío, monitoreo de presión de aire, limpieza de iones, ajuste de posición de la muestra, transferencia de muestras, calentamiento, configuración de espesor específica de evaporación de haz de electrones, ajuste automático de presión de aire, etc.

3. Xiamen yimao Technology co., Ltd. le proporcionaEquipo de recubrimiento al vacío de ultra alta altitudLos parámetros, precios, modelos, principios y otra información de qbt - j, el origen de qbt - J es fujian, la marca es shimao, el modelo es qbt - j, el precio es de 2 millones a 3 millones de yuanes, se puede consultar más información relevante, el teléfono de servicio al cliente de la compañía 7 * 24 horas para usted.

4. servicio postventa:

Garantía: 1 año

Si se puede prorrogar la garantía: no

Consultoría Técnica in situ: sí

Capacitación gratuita: 1. antes de que el equipo salga de la fábrica, se proporciona capacitación original del equipo de al menos 2 personas durante una semana. 2. el equipo completa la instalación y puesta en marcha en el sitio

Mantenimiento gratuito de instrumentos: se puede organizar si es necesario

Compromiso de mantenimiento dentro del seguro: durante el período de garantía (excepto desastres naturales y daños causados por el hombre), los costos de los componentes y los gastos de viaje de negocios serán asumidos por nuestra empresa.

Compromiso de reparación: nuestra empresa responderá a tiempo cuando se produzca una avería durante el período de garantía y enviará técnicos al sitio para resolver la avería en 8 horas.

V. parámetros técnicos: