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Limpiador de ozono UV

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Eliminación de la contaminación orgánica por el doble efecto del ozono y la luz ultravioleta en dos longitudes de ondaUV Ozone Cleaner※El método de limpieza en seco libre de daños puede...

Detalles del producto

Eliminación de la contaminación orgánica por el doble efecto del ozono y la luz ultravioleta en dos longitudes de onda
Limpiador de ozono UV
* El método de limpieza en seco libre de daños puede eliminar las contaminaciones orgánicas que se pegan a los sustratos mediante un proceso de resolución de oxidación fotoquímica.

Detalles del producto


UV Ozone Cleaner Beneficios
UV Ozone Cleaner

【Beneficios del método de limpieza de ozono UV】
Fácil eliminación de contaminaciones orgánicas en el sustrato que no podían ser eliminadas por limpieza ultrasónica sola.
Eliminación del disolvente orgánico utilizado en la limpieza en húmedo.
Posibilidad de eliminar contaminaciones orgánicas sin dañar la superficie del sustrato.
Fácil acumulación de la película L-B. (La tasa acumulativa ha mejorado mucho.)
Acilable a presión tmosférica. No requiere dispositivo de vacío.


Beneficios del limpiador de ozono UV de Filgen
Tipo de escritorio compacto que ahorra espacio.
Cambio automático de gas.
Conectando la tubería de oxígeno y la tubería de nitrógeno y ajustando el caudal de cada gas por adelantado, el dispositivo puede realizar los siguientes pasos automáticamente.
Introducción de oxígeno → Limpieza UV → Introducción de nitrógeno (escape de ozono)
* El oxígeno puede aumentar la eficiencia de la generación de ozono y el nitrógeno puede purgar el ozono.
(Lámpara de tubo recto equipada modelo - UV253V8)
No hay fugas de ozono porque tiene una construcción hermética.
La cámara del dispositivo es una construcción hermética que puede mantener una presión de 0,02 MPa.
Al conectarse a un cilindro de gas, el dispositivo puede realizar los siguientes pasos automáticamente sin la entrada de aire externo.
Introducción de oxígeno → Limpieza UV → Introducción de nitrógeno (escape de ozono).
La fuga de ozono puede acortar la vida útil de las partes del propio dispositivo y puede afectar a los datos de experimentos químicos o biológicos, lo que puede causar graves problemas.
(Otros modelos además de UV253V8)
No hay fugas de ozono cuando está conectado a un dispositivo de descomposición de ozono.
Al conectarse a un cilindro de gas, el dispositivo puede realizar los siguientes pasos automáticamente sin la entrada de aire externo.
Introducción de oxígeno → Limpieza UV → Introducción de nitrógeno (escape de ozono).
El sistema opcional de detección de ozono y el mecanismo de cierre de puerta están disponibles para evitar el error humano que puede conducir a fugas de ozono o UV.
(Sistema de detección de ozono)
Después de usar un dispositivo de descomposición de ozono o purgar con nitrógeno, mide la concentración de ozono en la sala de limpieza. La puerta se abrirá después de confirmar que la concentración de ozono cumple con el estándar de seguridad.
(Mecanismo de cierre de puerta)
El mecanismo de bloqueo dedicado impide que la puerta se abra mientras la lámpara UV está encendida (durante la generación de ozono).
(Sistema de detección de ozono interbloqueado y mecanismo de cierre de puerta)
Equipando y bloqueando el sistema opcional de detección de ozono y el mecanismo de cierre de puerta, la puerta no puede abrirse a menos que la concentración de ozono en la sala de limpieza cumpla con el estándar de seguridad.
Dependiendo de la aplicación, se pueden seleccionar dos tipos diferentes de lámparas UV (lámparas UV de tubo recto y lámparas UV de red de alta energía de alta densidad).
UV Ozone Cleaner UV Ozone Cleaner
Para los dos tipos anteriores de lámparas de mercurio de baja presión, están disponibles especificaciones de cuarzo fundido y especificaciones de cuarzo sintético. Por favor seleccione según la aplicación.
También es posible reemplazar la lámpara más tarde, sin cambiar las demás partes del dispositivo.
* La especificación de cuarzo sintético emite luz de longitud de onda de 184,9 nm mucho mejor (aproximadamente 1,7 veces) que la especificación de cuarzo fundido, lo que puede mejorar drásticamente la eficiencia de limpieza.
Tiempo digital con función de cuenta atrás.
Opcional Asesino de ozono (dispositivo de docomposición de ozono) equipar puede eliminar y agotar el ozono y hace que el entorno de trabajo sea aún más seguro.
Fácil conexión porque todos los tubos de nylon y los conectores de juntas utilizan juntas de un solo toque.
Longitud flexible del tubo de conexión, que está hecho de nylon y se puede cortar libremente.





UV Ozone Cleaner El principal de la limpieza del ozono UV

UV Ozone Cleaner

La limpieza del ozono UV es un proceso de oxidación fotosensible que utiliza luz UV de corta longitud de onda. Durante este proceso, los contaminantes orgánicos tales como fotoresistente, resina, aceite de silicio y flujo se descomponen absorbiendo radiación UV con longitud de onda corta.
Las moléculas de oxígeno se convierten en ozono a una longitud de onda de 184,9 nm y el ozono se descompone a una longitud de onda de 253,7 nm, produciendo simultáneamente especies reactivas de oxígeno.
La mayor parte de la luz UV de 253,7 nm es absorbida por hidrocarburos y ozono.
Los productos de los contaminantes descompuestos reaccionan con las especies reactivas de oxígeno y forman moléculas volátiles más simples (p.ej.2 H2O, etc.), a continuación, separarse de la superficie del sustrato.
Cuando existen tanto las longitudes de onda de 184,9 nm como las de 253,7 nm, los átomos de oxígeno continúan siendo generados y se convierten en ozono, entonces el ozono se descompone.

UV Ozone Cleaner

La conversión de la luz UV de 184,9 nm en energía por mol es de 647 KJ/mol.
La conversión de la luz UV de 253,7 nm en energía por mol es de 472 KJ/mol.
La energía de unión de varias moléculas de materia orgánica se enumera en la tabla derecha.
vinculación Energía de unión
(KJ/mol)
vinculación Energía de unión
(KJ/mol)
O-O 138.9 C=C 607
O=O 490.4 C≡C 828
O-H 462.8 C=O 724
C-C 347.7 C-Cl 328.4
C-H 413.4 H-F 593.2
C-N 291.6 C-F 441.0
C≡N 791 H-Cl 431.8
C-O 351.5 N-H 309.8


UV Ozone Cleaner Aplicación
UV Ozone Cleaner

◆ Pretratamiento de recubrimiento de película delgada
Limpieza de película ITO del EL orgánico
Limpieza del sustrato antes de la acumulación de la película LB
Limpieza fotoresistente
Limpieza de oblea de silicio, lente, espejo, panel solar, acero laminado en frío, subcomponente de inducción inercial, oblea GaAs
Limpieza de circuito híbrido y LCD de panel plano
Mejorar la adhesión del revestimiento al plástico
Proceso de limpieza del sustrato antes de la formación de película mediante método de inmersión

◆ Aplicaciones relacionadas con el microscopio electrónico
Eliminación de contaminantes de muestras SEM y/o TEM
Mejorar la humectabilidad y la afinidad de cuchillos de diamante y cuchillos de vidrio
Mejorar la humectabilidad e hidrofilidad de la película de soporte

◆Ohers
Esterilización y lavado del biolabware
voladizo AFM
Modificación de superficie PDMS
Limpieza de sellado hermético para vacío ultra alto
Eliminación del fluxo
Grabado de teflón, vitón y otros materiales orgánicos
Desgasificación de vidrio
Retirada de la cinta de obleas
Retirada de la tinta de la oblea probada
Recocido de Ta2El O5 películas dieléctricas