Topografía sin contacto Taylor Hobson en el Reino Unido

Taylor hobson: el topográfico sin contacto CCI Lite utiliza el principio de interferencia CCI (algoritmo de correlación coherente de la tecnología brickley), que puede medir con alta precisión la morfología de la superficie, la rugosidad de la superficie, las dimensiones tridimensionales y bidimensionales, la detección y análisis de defectos superficiales y generar informes estadísticos.

Morfología sin contacto de Taylor Hobson en el Reino unido: la morfología sin contacto de CCI Lite utiliza el principio de interferencia CCI (algoritmo de correlación coherente de la tecnología brickley), que puede medir la morfología de la superficie, la rugosidad de la superficie, las dimensiones tridimensionales y bidimensionales, la detección y el análisis de defectos superficiales con alta precisión y generar informes estadísticos;

Morfología sin contacto de Taylor Hobson en el Reino unido:

1. Base de amortiguación y columna:

Base de aluminio fundido: combinar la amortiguación de flotación de aire para mejorar la estabilidad y la precisión de repetición de la medición

Columna de estructura de acero: mejorar la solidez y estabilidad del Circuito de medición y reducir el impacto de las vibraciones externas

2. Parámetros del sistema

(1)Tipo de interferencia:CCIInterferencia, algoritmo de correlación de brickley de tellerhopson

(2)Rango de medición:2.2mm(Estándar), > 10 mm es con empalme de datos

(3)Resolución:0.1 A

(4) RMSRepetibilidad:<0.02nm

(5)Velocidad de escaneo vertical: 7 UM / s

(6)Puntos de medición:1 1024 x 1024Matriz de puntos

(7) X YRango de medición única del eje: 0,36 - 7,2 mm

(8) X YResolución del eje:0.4-0.6um（

(9)Repetibilidad de la altura del escalón: > 0,1%

(10)Ruido del sistema:<0.08nm

(11)Tiempo de medición: Muestra típica 5 - 20 segundos

(12) reflectividad de la pieza medida:0,3 - 100%