Serie 65.5 de válvulas oscilantes de control de alto vacío del IVA suizo

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Descripción general

La aplicación ideal de grabado corrosivo de alta presión y bajo flujo de proceso de alta presión y bajo flujo de la serie 65.5 de la válvula oscilante de control de alto vacío del IVA suizo $r $n65.5 puede proporcionar un espectro de conducción de flujo altamente controlable. Debido a su suave movimiento de apertura y cierre, el número de partículas y el nivel de generación de partículas son extremadamente bajos, que también es su característica principal. La válvula está especialmente diseñada para procesos rigurosos, como aplicaciones de grabado corrosivo y limpieza durante la producción de semiconductores, donde se requiere un espectro de conducción de flujo altamente controlable cuando la conducción de flujo controlable inicial es baja.

Detalles del producto

Serie 65.5 de válvulas oscilantes de control de alto vacío del IVA suizo

La válvula oscilante de control de alto vacío 65.5 puede proporcionar un espectro de conducción de flujo altamente controlable. Debido a su suave movimiento de apertura y cierre, el número de partículas y el nivel de generación de partículas son extremadamente bajos, que también es su característica principal.

La válvula está especialmente diseñada para procesos rigurosos, como aplicaciones de grabado corrosivo y limpieza durante la producción de semiconductores, donde se requiere un espectro de conducción de flujo altamente controlable cuando la conducción de flujo controlable inicial es baja.

El DN de la válvula oscilante de control de alto vacío 65.5 es de 250 mm (10 '), lo que permite controlar la Guía de flujo mínima a solo 2 ls - 1. Debido a la excelente capacidad de procesamiento de datos del controlador de accionamiento de 32 bits, se puede aumentar la conducción de flujo a un nivel muy fino. Además, se puede proporcionar una conducción más rápida, ya que los sensores y las órdenes de control se procesan más rápido que los controladores equivalentes de 16 bits. Los diversos conectores de puerto estándar en el controlador se pueden acceder fácilmente a través de un ordenador personal o conectado a la unidad de control de procesos.

El mecanismo de la placa de la válvula de péndulo adopta un diseño extremadamente resistente para garantizar que pueda resistir cualquier subproducto del proceso. Para reducir el desgaste del sello y evitar la generación y generación de partículas, el Movimiento de apertura y cierre está separado. La Guía de flujo de primera etapa se realiza a través de un movimiento vertical lejos del asiento de la válvula, y luego se aumenta moviendo la placa de la válvula de péndulo en un movimiento horizontal. Debido a la buena controlabilidad del Movimiento de la placa de la válvula, el orden de movimiento preestablecido se puede ajustar con precisión de acuerdo con los requisitos del proceso. Para garantizar el cierre del sello, la placa de la válvula se presiona sobre el asiento a través de una barra de presión especial. Esto garantiza que la presión de sellado se distribuya uniformemente en todas las áreas de la placa de la válvula.

Con opciones de diseño compacto e instalación directa y una variedad de otras opciones de diseño, la serie 65.5 se integra fácilmente en varios procesos de vacío.

65.5 la válvula oscilante de control de alto vacío está hecha de aluminio o alúmina anódica dura, con conectores de brida estándar ISO - F y jis. Se puede integrar en la brida designada por el cliente o como calentador para válvulas con temperaturas de trabajo de hasta 120 grados celsius.

1. válvulas
2. eje de accionamiento
3. accionamiento de dos ejes
4. sello de alimentación del conductor
5. cierre de puertas

Características:

Proporcionar aislamiento confiable en un entorno de proceso hostil
Operación de bajo impacto, Baja generación de partículas
Inercia del proceso - Liberación residual de gas extremadamente baja (analizador de gas residual)
Funcionamiento rápido y ajustable
Controlador de presión en el dispositivo
La fuente de alimentación del sensor opcional solo necesita una fuente de alimentación

Ventajas:

Rendimiento del control de presión
Funciona rápido, casi sin partículas
Se puede ajustar de acuerdo con los requisitos del proceso.

Parámetros técnicos

tamaño		DN 250 (10')
unidad		Controlador de presión integrado con SERVOMOTORES
Material del cuerpo de la válvula		Aluminio o alúmina anódica dura
Pieza de alimentación		Alimentación giratoria
Brida estándar		ISO-F, JIS
Cuerpo de la válvula de tasa de fuga	aluminio Alúmina anódica dura	< 1 × 10-9mbar Ls-1 < 1 × 10-5mbar Ls-1
Asiento con tasa de fuga	aluminio Alúmina anódica dura	< 1 × 10-9mbar Ls-1 < 1 × 10-4mbar Ls-1
Rango de presión	aluminio Alúmina anódica dura	1 × 10-8Mbar a 1,2 Bar (presión absoluta) 1 × 10-6Mbar a 1,2 Bar (presión absoluta)
Número de interruptores delanteros de mantenimiento1)	Control de presión Cerrar / abrir	2 millones de veces 50000 veces
temperatura	Cuerpo de la válvula controlador	≤ 120 °C Máximo 50 ° c (recomendado ≤35℃）
material	Cuerpo de la válvula, placa de la válvula	EN AW-6061 (3.2311) T651
	Otros componentes	AISI 316L (1.4404, 1.4435)
	Tornillo de conexión en la placa de la válvula	SST A4-80、Ni-PTFE、 revestimiento
sellado	Tapa de válvula, placa de válvula, cuerpo de válvula, pieza de alimentación	Caucho flúor
Posición de instalación		Cualquier posición

Serie 65.5 de válvulas oscilantes de control de alto vacío del IVA suizo

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