Serie 65.3 de válvulas oscilantes de control de presión de alto vacío del IVA suizo

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La serie Suiza de válvulas oscilantes de presión controlada de alto vacío VAT 65.3 $r $n puede optimizar el control de presión aguas abajo y el aislamiento en semiconductores y sistemas de visualización $r $n65.3 válvulas oscilantes de presión controlada establecen nuevos estándares para el control de presión aguas abajo y el aislamiento. Esta serie de válvulas oscilantes de control de presión está especialmente diseñada para sistemas de producción de semiconductores y pantallas, lo que puede proporcionar un alto nivel de controlabilidad en un amplio rango de conducción de flujo. 65.3 la válvula oscilante de control de presión está equipada con un motor con control de posición integrado, que puede proporcionar funciones mejoradas.

Detalles del producto

Serie 65.3 de válvulas oscilantes de control de presión de alto vacío del IVA suizo

65.3 la válvula oscilante de control de presión establece un nuevo estándar para el control de presión aguas abajo y el aislamiento. Esta serie de válvulas oscilantes de control de presión está especialmente diseñada para sistemas de producción de semiconductores y pantallas, lo que puede proporcionar un alto nivel de controlabilidad en un amplio rango de conducción de flujo. 65.3 la válvula oscilante de control de presión está equipada con un motor con control de posición integrado, que puede proporcionar funciones mejoradas.

El controlador del conductor tiene una mayor capacidad de procesamiento de datos de 32 bits y puede proporcionar una nueva controlabilidad. Esto significa que las posiciones de la placa de la válvula de péndulo se pueden controlar de manera muy rápida, fina y precisa, logrando así un control de presión aguas abajo muy preciso en un tiempo de respuesta muy corto. La secuencia de movimiento preestablecida de la válvula se puede ajustar en función de varios parámetros de proceso cambiantes, la velocidad y la ruta. 65.3 la válvula oscilante de presión controlada también puede evitar la liberación de partículas. El Movimiento de cierre de amortiguación optimizado de la placa de la válvula puede evitar el impacto y la vibración comunes de las válvulas tradicionales. 65.3 El cierre de la válvula oscilante de control de presión es fluido y apenas se percibe el cierre y la apertura. La placa de la válvula proporciona una guía mecánica muy precisa que garantiza el control del flujo de aire sin contacto en el movimiento alternativo y logra un sellado uniforme en todas las áreas del Movimiento de sellado.

65.3 la válvula oscilante de control de presión se ha instalado en cientos de aplicaciones exigentes en diversas condiciones de proceso, lo que demuestra su fiabilidad y rendimiento. 65.3 la válvula oscilante de control de presión también es una opción ideal para transformar el sistema existente.

65.3 la válvula oscilante de control de presión tiene un tamaño DN de 100 - 350 mm (4 '- 14'), hecha de aluminio o alúmina anódica dura, con conexiones de brida estándar ISO - F y jis. Se puede integrar una brida personalizada o como opción de instalación directa. El material de sellado estándar es caucho flúor y se pueden utilizar otros materiales según sea necesario.

El controlador puede adoptar algoritmos de control especiales (autoadaptación, EIP fijo, aguas arriba, bombeo suave). Los diversos puertos finales estándar en el controlador se pueden acceder fácilmente a través de un ordenador personal o conectado a una unidad de control de procesos (pcu). El software especial del analizador de rendimiento de control (cpa) puede calibrar fácilmente la válvula oscilante de control de presión 65.3 y simplificar el plan de mantenimiento.

瑞士VAT高真空控压摆阀65.3系列

Características:

Control de presión rápido y preciso
Operación sin impacto: sin generación de partículas
Mejorar la estabilidad del proceso: se pueden controlar todos los flujos y presiones
Regulador de presión integrado de 32 dígitos (ic2) con analizador de rendimiento de control (cpa)
Transformación "plug and play": sin necesidad de calibrar o emparejar

Ventajas:

Fiabilidad, precisión y velocidad
Extensión del ciclo de mantenimiento
Bajo costo de operación

tamaño		DN 100 (4'), DN 160 (6'), DN 200 (8'), DN 250 (10'), DN 320 (12'), DN 350 (14')
unidad		Motor de paso con controlador de presión integrado
Material del cuerpo de la válvula		Aluminio: aluminio o alúmina anódica dura
Pieza de alimentación	unidad Junta de estanqueidad	Alimentación giratoria Pieza de alimentación del eje
Brida estándar		ISO-F, JIS
Cuerpo de la válvula de tasa de fuga	aluminio Alúmina anódica dura	< 1 × 10-9mbar Ls-1 < 1 × 10-5mbar Ls-1
Asiento con tasa de fuga	aluminio Alúmina anódica dura	< 1 × 10-9mbar Ls-1 < 1 × 10-4mbar Ls-1
Rango de presión	aluminio Alúmina anódica dura	1 × 10-8Mbar a 1,2 Bar (presión absoluta) 1 × 10-6Mbar a 1,2 Bar (presión absoluta)
Número de interruptores delanteros de mantenimiento1)	Control de presión Cerrar / abrir	1 millón de veces 200000 veces
temperatura	Cuerpo de la válvula controlador	≤ 120 °C Máximo 50 ° c (recomendado ≤ 35 ° c)
material	Cuerpo de la válvula, placa de la válvula	EN AW-6061 (3.3211)
	Junta de estanqueidad	EN AW-6061 (3.3211), AISI 305 (1.4303), AISI 420C (1.3541), AISI 631 (1.4568)
	Otros componentes	AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 440 (1.4122), AISI 301 (1.4310), AISI 316 Ti (1.4571), AISI 304 (1.4301)
sellado	Tapa de válvula, placa de válvula, Alimentación del cuerpo de la válvula	Caucho flúor (que contiene flúor)
Posición de instalación		Cualquier posición

Serie 65.3 de válvulas oscilantes de control de presión de alto vacío del IVA suizo

Número de mercancía 65350 - jauh número de mercancía 65346 - phgk número de mercancía 65350 - jauf número de mercancía 65350 - jaue número de mercancía 65350 - Pace

Número de producto 65346 - phgn número de producto 65340 - jagq número de producto 65340 - jagn

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