Medición de la altura de los escalones

Medición de la altura de los escalones

En muchas aplicaciones de alta tecnología, es necesario medir la altura de los escalones con precisión y repetibilidad. Taylor Hobson ofrece muchos instrumentos especialmente diseñados para cumplir con estos * altos requisitos para la medición de la altura de los escalones. La altura del escalón cubre entre subnanómetros y milímetros, y la repetibilidad es inferior a 0,1 nanómetros.

Medición

Altura del escalón tridimensional
Proporciona una diferencia de altura entre los dos planos definidos por las dos regiones de la superficie. * las áreas se definen como áreas de referencia, y el software ajustará el plano de * segundo menor en esta área. Luego se mide el segundo plano en consecuencia. También se miden la altura media del escalón, * altura grande y * altura pequeña y la diferencia de ángulo.

Altura del escalón bidimensional
Proporciona métodos de medición de la altura de los escalones para geometrías simples como líneas de grabado o áreas rectangulares. En el caso de la exposición del borde, la altura del escalón bidimensional también se puede utilizar para medir el espesor.

Altura del escalón ISO 5436 - 1
Al tratar de comparar las mediciones de la altura de los escalones realizadas por diferentes instrumentos de medición, es muy importante medirlas de acuerdo con los métodos de medición estándar. La norma ISO 5436 - 1 proporciona un método de medición de la altura de los escalones reconocido internacionalmente. Todos los instrumentos anteriores apoyan este estándar.